![]common_001](https://jp.industry.panasonic.com/hs-fs/hubfs/pid-corp/products/fasys/app/semi/images/%5Dcommon_001.png?width=7&height=30&name=%5Dcommon_001.png)
FOUP上昇・下降時の横振れ検出
課 題
FOUPの横揺れが発生すると、受け渡し時の搬送エラーやウェーハへのダメージにつながるおそれがあります。
ご提案
ミラー反射型レーザセンサ EX-L291でFOUPの横揺れを検出。アンプ内蔵の超小型センサなので設置スペースを抑え、装置設計の自由度向上とコスト削減に貢献します。
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OHTの追従制御用距離検出
課 題
OHT間の距離を適切に保ちながら追従性を高め、安全かつ効率的に搬送したい。
ご提案
HG-Cシリーズは、広い測定範囲と高い繰返し精度により、OHT間の距離を高精度に測定。アルミダイカストケースの採用により、軽量化と高い剛性を両立しています。
関連製品
透明FOUP有無検知
課 題
FOUPの着脱時に、透明なFOUPの有無を安定して検出したい。
ご提案
光軸を斜めに検出することで、FOUPの有無を検出できます。
透明体検出に特化したCX-48□なら透明FOUPも確実に検出。設置個所の制約がある場合には小型のEX-L200もご提案可能です。
関連製品
FOUP蓋の取り付け確認
課 題
FOUP搬送前に、蓋が正しく取り付けられていることを確認し、蓋の脱落や搬送トラブルを防ぐ必要がある。
ご提案
小型光電センサでFOUP蓋の取り付け状態を検出。限られたスペースにも設置でき、蓋の有無を確実に確認します。
関連製品
OHT走行レール上のバーコード読取りトリガ
課 題
OHTの位置情報を管理するため、走行レール上のバーコードを高速移動中に読み取るためのトリガ信号が必要です。
ご提案
デジタルファイバアンプ FX-250とタフファイバを組み合わせ、バーコード読取りのトリガを安定して検出。コンパクトで取り回しやすく、限られたスペースにも設置できます。
関連製品
- FX-250 Series 〉
- タフファイバ 〉
タイヤの摩耗状態の計測
課 題
OHTのタイヤが摩耗すると、停止位置のずれなどが発生し、搬送トラブルにつながるおそれがあります。
ご提案
帯状に測定できる透過型デジタル変位センサ HG-Tでタイヤの摩耗状態を測定。繰返し精度1 μmの高精度測定により、適切なメンテナンス時期の管理をサポートします。
関連製品
FOUP搬入口の安全対策
課 題
FOUP搬入口から手が入り、装置内部の搬送機構などの可動部に接触するリスクがあります。
ご提案
薄型セーフティライトカーテン SF4Cシリーズで搬入口への侵入を検知。広い開口部を確保しながら、危険領域への侵入時に装置を停止し、安全性と作業性の両立に貢献します。
関連製品
FOUPの2重搬入防止
課題
ストッカへのFOUP格納時に、格納先にすでにFOUPがないことを確認する必要があります。
ご提案
小型レーザ測距センサ HG-F1シリーズなら、材質や色の影響を受けにくいTOF方式により、離れた位置からFOUPの有無を安定して検出できます。
関連製品
FOUP着座確認
課題
FOUP搬送時には、FOUPが所定位置に正しく着座していることを確認する必要があります。
ご提案
限定反射型センサでFOUPの着座状態を検出。背景や周囲の影響を抑え、所定位置への正しいセットを安定して確認できます。
関連製品
- EX-M Series 〉
- EX-14 〉
ストッカ棚位置検出 棚先端のミラーテープ検出
課題
FOUPを正確に入出庫するため、搬送機構とストッカ棚の位置を正確に合わせる必要があります。
ご提案
光電センサで棚先端のミラーテープを検出。ストッカ棚の位置を安定して検出し、FOUP搬送時の正確な位置決めをサポートします。
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