![]common_001](https://jp.industry.panasonic.com/hs-fs/hubfs/pid-corp/products/fasys/app/semi/images/%5Dcommon_001.png?width=7&height=30&name=%5Dcommon_001.png){kind=small}
レチクルのアライメント
課 題
露光精度に影響するレチクルを、正確に位置決めする必要があります。
ご提案
設置スペースや必要な精度に応じて、透過型変位センサ HG-Tや反射型変位センサ HL-G2など、最適な変位センサをご提案します。
関連製品
レチクルの飛出し検知とマッピング
課 題
ストッカーからのレチクルの飛び出しを検知するとともに、マッピングによってレチクルの有無や枚数を確認する必要があります。
ご提案
同軸反射型レーザセンサ LS-H201は、従来品比約60％に小型化し、狭いスペースにも設置可能。長距離でも小スポットを実現し、レチクルのわずかな位置ずれを安定して検出します。
・スポットサイズ約φ2mm以下（距離300mm）
・FDA規則に準拠 クラス1レーザ
関連製品
レチクルの有無確認
課 題
透明なレチクルの有無を安定して検出する必要があります。
ご提案
ミラー反射型ファイバセンサにより、高いS/N比を確保。透明なレチクルも安定して検出できます。
関連製品
- FR-Z50HW 〉
ウェーハの吸着（歪みを押さえる）
課 題
ウェーハのうねりや位置ずれを抑えるため、均一かつ安定した吸着が必要です。
ご提案
デジタル圧力センサで吸着時の真空圧を監視。吸着不足や吸着異常を検出し、ウェーハの安定した保持をサポートします。
関連製品
ロボットハンドでの着座確認
課 題
ウェーハを安定して搬送するため、ロボットハンド上に正しく着座していることを確認する必要があります。
ご提案
厚さ1.5 mmの超薄型限定反射型ファイバセンサでウェーハ端部を直接検出。限られたハンドスペースにも組み込め、ウェーハの着座状態を安定して確認できます。
関連製品
- FD-L13H1 〉
光源シャッタ開閉検知
課 題
露光部では、センサの表示灯や発熱などによる周囲環境への影響をできるだけ抑える必要があります。
ご提案
コの字型ファイバセンサなら、ヘッド部に電気部品を内蔵していないため、表示灯や発熱による周囲環境への影響を抑えながらシャッターの開閉を検出できます。
関連製品
冷却水の漏液検知
課 題
従来の1出力タイプでは、わずかな初期漏液でも装置が停止し、チョコ停につながることがあります。設備の稼働率を維持しながら、異常漏液を検知する必要があります。
ご提案
SQ4なら、初期漏液（警報）と異常漏液（緊急停止）を2段階で検知。生産性と安全性の両立に加え、センサの設置忘れや取り付け不備などの異常も検知できます。
関連製品
- SQ4 Series 〉
- EX-F60 Series 〉
- FD-F71 〉
ロードポートの除電
課 題
ウェーハの帯電は異物付着や静電破壊の原因となるため、確実な除電と帯電状態の管理が求められます。
ご提案
イオナイザでウェーハを除電し、表面電位センサで帯電量を常時モニタリング。除電効果を見える化し、安定した静電気対策を実現します。
関連製品
- ER-X Series 〉
- EF-S1 〉
