| シリーズ名 | 検出方式 | 特長 | 分解能 | |
|---|---|---|---|---|
| 光/透過式 (レーザライン CMOSタイプ) | 高精度 高機能 | 1μm (設置距離20mmにて) 2.5μm (設置距離100mmにて) 5μm (設置距離500mmにて) ※繰り返し精度 | |
| 光/反射式 (レーザ変位) | 超高速 高分解能 | 0.01μm~ | |
| 小型・ デジタル表示付 | 0.5μm~ | ||
| 超小型・ デジタル表示付 | 10μm~ (繰り返し精度) | ||
| 光/透過式 (レーザライン) | わずかな光量差を 高精度に判別 | 4μm~ | |
| 磁気変位 | 高速・高精度 デジタル変位 | 0.02%F.S. | |
| シリーズ名 | 検出方式 | 特長 | 分解能 | |
|---|---|---|---|---|
| 接触式変位 | スリム&堅牢 高精度 | 0.1μm~ | |