LED式ウェーハアライメントセンサ HD-T1
セーフティ漏液センサ [制御カテゴリ4 PLe SIL3] SQ4
リークセンサ[アンプ内蔵] EX-F60
パイプ取付式液面検出センサ[アンプ内蔵] EX-F1
水検知センサ EZ-10
デジタルカラーマークセンサ[アンプ内蔵] LX-100
カラーファイバセンサ FZ-10
障害物センサ PX-2
小物・薄物検出用エリアセンサ NA1-11