パナソニック インダストリー / 制御機器
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LED式ウェーハアライメントセンサ HD-T1

  • 基本情報

  • 用途

  • 種類・価格

  • 仕様

  • 寸法図

  • 回路・接続

  • 使用上のご注意

------------------------------ Tab1 showing ------------------------------

基本情報

------------------------------ Tab2 showing ------------------------------

用途

ウェーハの偏心・ノッチ検出
ウェーハの偏心・ノッチ検出

------------------------------ Tab3 showing ------------------------------

種類・価格

センサヘッド

形状検出距離検出幅型式名標準価格
<税別>
形状30mm(固定)
(注1)
30mmHD-T1030146,400円

(注1):出荷時、取付ベースに固定された状態での値です。

コントローラ

センサヘッドとコントローラは、必ずセットでご使用ください。

形状型式名出力標準価格
<税別>
HD-T1CHD-T1Cアナログ電圧
・出力電圧:1~5V
54,900円

------------------------------ Tab4 showing ------------------------------

仕様

センサヘッド

型式名HD-T1030
組み合わせコントローラHD-T1C
検出幅30mm(直線性は、28mm幅にて規定)
検出距離30mm(固定)(注2)



保護構造IP40(IEC)
使用周囲温度0~+40℃(但し、結露しないこと)、保存時:-20~+55℃
使用周囲湿度35~85%RH、保存時:35~85%RH
使用周囲照度白熱ランプ:受光面照度3,000lx以下、蛍光灯光:受光面照度3,000lx以下
耐電圧AC1,000V 1分間 充電部一括・ケース間
絶縁抵抗DC250Vメガにて20MΩ以上 充電部一括・ケース間
耐振動耐久10~150Hz 複振幅0.75mm XYZ各方向2時間
耐衝撃耐久490m/s2(約50G) XYZ各方向3回
投光素子赤色LED(発光ピーク波長:650nm)
受光素子フォトダイオード
材質本体ケース:PEI、前面カバー部: ガラス、取付ベース:アルミ
ケーブル耐熱PVCケーブル0.5m末端コネクタ付
質量本体質量:約150g

(注1):指定のない測定条件は、使用周囲温度=+20℃です。

(注2):出荷時、取付ベースに固定された状態での値です。

コントローラ

型式名HD-T1C
組み合わせセンサヘッドHD-T1030
電源電圧24V DC±10% リップルP-P10%以下
消費電流70mA以下(センサヘッドを含む)
アナログ出力アナログ電圧
・出力電圧:1±0.5V(全遮光時)~5±0.5V(全入光時)
・出力インピーダンス:75Ω
 応答時間0.5ms以下(8V/ms以上)
分解能30μm(注2)
直線性±1.0%F.S.(検出位置中心の検出幅28mmにて)(注3)
温度特性±0.1%F.S./℃(24±2℃にて)(注3)
スパン調整機能アナログ出力電圧のスパンを調整、15回転エンドレスボリウム装備
シフト調整機能アナログ出力電圧のオフセットを調整、15回転エンドレスボリウム装備
ウォーミングアップ時間30分以上



保護構造IP40(IEC)
使用周囲温度0~+40℃(但し、結露しないこと)、保存時:-20~+70℃
使用周囲湿度35~85%RH、保存時:35~85%RH
耐電圧AC1,000V 1分間 充電部一括・ケース間
絶縁抵抗DC250Vメガにて20MΩ以上 充電部一括・ケース間
耐振動耐久10~150Hz 複振幅0.75mm XYZ各方向2時間
耐衝撃耐久490m/s2(約50G) XYZ各方向3回
材質本体ケース:耐熱ABS、コネクタカバー部:耐熱ABS、
ボリウムカバー部:ポリカーボネート
ケーブル0.22mm2 3芯耐熱PVCケーブル0.3m付
ケーブル延長0.3mm2以上のケーブルにて全長3mまで延長可能
質量本体質量:約85g

(注1):指定のない測定条件は、使用周囲温度=+20℃です。

(注2):分解能とは、アナログ出力のピークtoピーク距離換算値(20MHz以下帯域にて)です。

(注3):センサヘッドとコントローラを組み合わせた状態で測定したときの代表例です。

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寸法図

単位mm

HD-T1030

センサヘッド

HD-T1030

HD-T1C

コントローラ

HD-T1C

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回路・接続

入・出力回路図(コントローラ)

入・出力回路図(コントローラ)

(注1):アナログ出力には、短絡保護回路が装備されていません。
電源あるいは容量負荷を直接接続しないでください。

記号・・・
D:電源逆接続保護用ダイオード
ZD:サージ電圧吸収用ツェナーダイオード

端子配列図(コントローラ)

端子配列図(コントローラ)

端子No.内容
1+V投光器側
20V
3投光パルス
4シールド
5シールド受光器側
6受光信号
70V
8+V

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使用上のご注意

  • 本製品は、人体保護用の検出装置としては使用しないでください。
  • 人体保護を目的とする検出にはOSHA、ANSI、およびIEC等の各国の人体保護用に関する法律および規格に適合する製品をご使用ください。
  • センサヘッドとコントローラは、必ずセットでご使用ください。

取り付け

センサヘッド

  • センサヘッドの取り付けは、下図のようにM4六角穴付ボルト(別途ご用意ください)を2個使用し、締め付けトルクは0.5N・m以下としてください。
  • 投・受光器と取付ベースを固定している固定ビスは、取り外さないでください。出力値が変動します。
  • 投・受光器側面の取付穴を使用して、ビスで取り付けないでください。

    センサヘッド

コントローラ

<DINレールを使用する場合>

  1. ストッパを矢印の方向に押し込んだ状態(ロックされます)で取り付け部前部を35mm幅DINレールにはめ込みます。
  2. 取り付け部後部を35mm幅DINレールに押さえ付け、はめ込みます。

DINレールを使用する場合

※取り外す場合は、ストッパのミゾにマイナスドライバを差し込み、後ろに引くと外せます。

取り外す場合は、ストッパのミゾにマイナスドライバを差し込み、後ろに引くと外せます。

<ビスを使用する場合>

  • ビスで取り付ける場合は、M4ナベビスを使用し、締め付けトルクは1.2N・m以下としてください。

    ビスを使用する場合

配線

  • コントローラのアナログ出力には、短絡保護回路が装備されていません。電源あるいは容量負荷を直接接続しないでください。
  • 配線時、コネクタに静電気を印加しないようご注意ください。故障の原因となります。
  • 誤配線をすると、故障の原因となります。
  • コントローラのケーブル延長は、0.3mm2以上のケーブルにて全長3mまで可能です。センサヘッドのケーブルの長さは、変更できません。
  • ケーブルの引き出し部に無理な曲げ、引っ張りなどのストレスが加わらないようにしてください。断線するおそれがあります。
  • 直流電源には、必ず絶縁トランスをご使用ください。オートトランス(単巻トランス)をご使用になると、本体や電源を破損することがあります。
  • 使用電源にサージが発生する場合は、発生源にサージアブソーバを接続してサージを吸収してください。

その他

  • 本製品は、工業環境に使用する目的で開発/製造された製品です。
  • 屋外で使用しないでください。
  • 電源投入時の過渡的状態(0.5s)を避けてご使用ください。
  • 本製品は、LED光の受光量を出力しています。検出幅の中心部と周囲部では光強度にばらつきがあるため、寸法精度の保証はできませんので、ご注意ください。
  • センサヘッドの投・受光面に水、油、指紋など光を屈折させるもの、あるいはホコリやゴミなど光を遮断するものを付着させないでください。付着した場合は、ホコリの出ない柔らかい布、またはレンズ用ペーパーなどで拭いてください。
  • 測定物体が鏡面体または透明体の場合、正確に測定できない場合がありますので、ご注意ください。

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