基本情報
安全なLED光で高精度検出30μmを実現
ウェーハアライメントセンサHD-T1シリーズの光源には安全な赤色LEDを採用していますので、煩わしい安全方策が一切不要。レーザ光使用の際に必要な保護カバーや米国で使用する際に必要なFDA規則の取得も必要ありません。
センサヘッドとコントローラとの接続はワンタッチコネクタ式。配線の工数が最小限で済み、メンテナンスもラクです。
消費電流は、センサヘッドとコントローラ合わせて70mA以下。光電センサ並みの低消費電力を実現しています。
ウェーハアライメントセンサHD-T1シリーズは、赤色LED光源でありながらレーザセンサ並みの高性能を実現しましたので、高精度な検出が可能です。
投・受光部一体型ですから、面倒な光軸調整は不要です。また、検出距離および検出幅が30mmと広いエリアをカバーできますのでさまざまなサイズのウェーハに対応できます。
アナログ出力(1〜5V)には、スパン調整機能に加えてアナログ電圧を±0.5Vの範囲でシフトできる便利なシフト調整機能を装備しました。
| 型式名 | HD-T1030 | |
|---|---|---|
| 組み合わせコントローラ | HD-T1C | |
| 検出幅 | 30mm(直線性は、28mm幅にて規定) | |
| 検出距離 | 30mm(固定)(注2) | |
| 耐 環 境 性 | 保護構造 | IP40(IEC) |
| 使用周囲温度 | 0~+40℃、保存時:-20~+55℃ | |
| 使用周囲湿度 | 35~85%RH(但し、結露しないこと) | |
| 使用周囲照度 | 白熱ランプ:受光面照度3,000lx以下、蛍光灯光:受光面照度3,000lx以下 | |
| 耐電圧 | AC1,000V 1分間 充電部一括・ケース間 | |
| 絶縁抵抗 | DC250Vメガにて20MΩ以上 充電部一括・ケース間 | |
| 耐振動 | 耐久10~150Hz 複振幅0.75mmまたは最大加速度49m/s2 XYZ各方向2時間 | |
| 耐衝撃 | 耐久490m/s2(約50G) XYZ各方向3回 | |
| 投光素子 | 赤色LED(発光ピーク波長:650nm) | |
| 受光素子 | フォトダイオード | |
| 材質 | 本体ケース:PEIおよびアルミ、前面カバー部: ガラス、取付ベース:アルミ | |
| ケーブル | PVCケーブル0.5m末端コネクタ付 | |
| 質量 | 本体質量:約150g | |
(注1):指定のない測定条件は、使用周囲温度=+20℃です。
(注2):出荷時、取付ベースに固定された状態での値です。
| 型式名 | HD-T1C | |
|---|---|---|
| 組み合わせセンサヘッド | HD-T1030 | |
| 電源電圧 | 24V DC±10% リップルP-P10%以下 | |
| 消費電流 | 70mA以下(センサヘッドを含む) | |
| アナログ出力 | アナログ電圧 ・出力電圧:1±0.5V(全遮光時)~5±0.5V(全入光時) ・出力インピーダンス:75Ω | |
| 応答時間 | 0.5ms以下(8V/ms以上) | |
| 分解能 | 30μm(注2) | |
| 直線性 | ±1.0%F.S.(検出位置中心の検出幅28mmにて)(注3) | |
| 温度特性 | ±0.1%F.S./℃(24±2℃にて)(注3) | |
| スパン調整機能 | アナログ出力電圧のスパンを調整、15回転エンドレスボリウム装備 | |
| シフト調整機能 | アナログ出力電圧のオフセットを調整、15回転エンドレスボリウム装備 | |
| ウォーミングアップ時間 | 30分以上 | |
| 耐 環 境 性 | 保護構造 | IP40(IEC) |
| 使用周囲温度 | 0~+40℃、保存時:-20~+70℃ | |
| 使用周囲湿度 | 35~85%RH(但し、結露しないこと) | |
| 耐電圧 | AC1,000V 1分間 充電部一括・ケース間 | |
| 絶縁抵抗 | DC250Vメガにて20MΩ以上 充電部一括・ケース間 | |
| 耐振動 | 耐久10~150Hz 複振幅0.75mmまたは最大加速度49m/s2 XYZ各方向2時間 | |
| 耐衝撃 | 耐久490m/s2(約50G) XYZ各方向3回 | |
| 材質 | 本体ケース:耐熱ABS、コネクタカバー部:耐熱ABS、 ボリウムカバー部:ポリカーボネート | |
| ケーブル | 0.22mm2 3芯耐熱PVCケーブル0.3m付 | |
| ケーブル延長 | 0.3mm2以上のケーブルにて全長3mまで延長可能 | |
| 質量 | 本体質量:約85g | |
(注1):指定のない測定条件は、使用周囲温度=+20℃です。
(注2):分解能とは、アナログ出力のピークtoピーク距離換算値(20MHz以下帯域にて)です。
(注3):センサヘッドとコントローラを組み合わせた状態で測定したときの代表例です。
単位mm
センサヘッド

コントローラ


(注1):アナログ出力には、短絡保護回路が装備されていません。
電源あるいは容量負荷を直接接続しないでください。

| 端子No. | 内容 | |
|---|---|---|
| 1 | +V | 投光器側 |
| 2 | 0V | |
| 3 | 投光パルス | |
| 4 | シールド | |
| 5 | シールド | 受光器側 |
| 6 | 受光信号 | |
| 7 | 0V | |
| 8 | +V | |
センサヘッド

コントローラ
<DINレールを使用する場合>

※取り外す場合は、ストッパのミゾにマイナスドライバを差し込み、後ろに引くと外せます。

<ビスを使用する場合>

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