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HD-T1C｜LED式ウェーハアライメントセンサ HD-T1

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※実際の商品は写真とは異なる場合がございます。

EU RoHS指令 2011/65/EUの6物質、及びEU RoHS指令 2015/863/EUの4物質の非含有規格に適合しております。

品番

HD-T1C

型番

HD-T1C

商品

LED式ウェーハアライメントセンサ

詳細

コントローラ

商品名

 LED式ウェーハアライメントセンサ HD-T1

お問い合わせ

※商品改良のため、仕様・外観は予告なしに変更することがありますのでご了承ください。

スペック詳細

商品改良のため、仕様・外観は予告なしに変更することがありますのでご了承ください。
項目内容
品番HD-T1C
型番HD-T1C
組み合わせコントローラHD-T1030
耐環境性:保護構造IP40(IEC)
耐環境性:使用周囲温度0～+40℃(但し、結露しないこと)、保存時：-20～+70℃
耐環境性:使用周囲湿度35～85%RH、保存時：35～85%RH
耐環境性:耐電圧AC1,000V 1分間　充電部一括・ケース間
耐環境性:絶縁抵抗DC250Vメガにて20MΩ以上　充電部一括・ケース間
耐環境性:耐振動耐久10～150Hz　複振幅0.75mm　XYZ各方向2時間
耐環境性:耐衝撃耐久490m/s2(約50G) XYZ各方向3回
材質本体ケース：耐熱ABS、コネクタカバー部：耐熱ABS、 ボリウムカバー部：ポリカーボネート
ケーブル0.22mm2 3芯耐熱PVCケーブル0.3m付
質量本体質量：約85g
電源電圧24V DC±10%　リップルP-P10%以下
消費電流70mA以下(センサヘッドを含む)
アナログ出力アナログ電圧
・出力電圧：1±0.5V(全遮光時)～5±0.5V(全入光時)
・出力インピーダンス：75Ω
アナログ出力:応答時間0.5ms以下(8V/ms以上)
アナログ出力:分解能30μm
(注):分解能とは、アナログ出力のピークtoピーク距離換算値(20MHz以下帯域にて)です。
アナログ出力:直線性±1.0%F.S.(検出位置中心の検出幅28mmにて)
(注):センサヘッドとコントローラを組み合わせた状態で測定したときの代表例です。
アナログ出力:温度特性±0.1%F.S./℃(24±2℃にて)
(注):センサヘッドとコントローラを組み合わせた状態で測定したときの代表例です。
スパン調整機能アナログ出力電圧のスパンを調整、15回転エンドレスボリウム装備
シフト調整機能アナログ出力電圧のオフセットを調整、15回転エンドレスボリウム装備
ウォーミングアップ時間30分以上
ケーブル延長0.3mm2以上のケーブルにて全長3mまで延長可能

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