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HD-T1030｜LED式ウェーハアライメントセンサ HD-T1

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※実際の商品は写真とは異なる場合がございます。

EU RoHS指令 2011/65/EUの6物質、及びEU RoHS指令 2015/863/EUの4物質の非含有規格に適合しております。

品番

HD-T1030

型番

HD-T1030

商品

LED式ウェーハアライメントセンサ

詳細

センサヘッド

商品名

 LED式ウェーハアライメントセンサ HD-T1

お問い合わせ

※商品改良のため、仕様・外観は予告なしに変更することがありますのでご了承ください。

スペック詳細

商品改良のため、仕様・外観は予告なしに変更することがありますのでご了承ください。
項目内容
品番HD-T1030
型番HD-T1030
組み合わせコントローラHD-T1C
検出幅30mm(直線性は、28mm幅にて規定)
検出距離30mm(固定)
(注):出荷時、取付ベースに固定された状態での値です。
耐環境性:保護構造IP40(IEC)
耐環境性:使用周囲温度0～+40℃(但し、結露しないこと)、保存時：-20～+55℃
耐環境性:使用周囲湿度35～85%RH、保存時：35～85%RH
耐環境性:使用周囲照度白熱ランプ：受光面照度3,000lx以下、蛍光灯光：受光面照度3,000lx以下
耐環境性:耐電圧AC1,000V 1分間　充電部一括・ケース間
耐環境性:絶縁抵抗DC250Vメガにて20MΩ以上　充電部一括・ケース間
耐環境性:耐振動耐久10～150Hz　複振幅0.75mm　XYZ各方向2時間
耐環境性:耐衝撃耐久490m/s2(約50G) XYZ各方向3回
投光素子赤色LED(発光ピーク波長：650nm)
受光素子フォトダイオード
材質本体ケース：PEI、前面カバー部： ガラス、取付ベース：アルミ
ケーブル耐熱PVCケーブル0.5m末端コネクタ付
質量本体質量：約150g

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