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M-DW1｜ウェーハマッピングセンサ M-DW1(終了品)

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受注終了

終了時期

※実際の商品は写真とは異なる場合がございます。

EU RoHS指令 2011/65/EUの6物質、及びEU RoHS指令 2015/863/EUの4物質の非含有規格に適合しております。

    品番

    M-DW1

    型番

    M-DW1

    商品

    ウェーハマッピングセンサ

    詳細

    LED式反射型

    商品名

    		 ウェーハマッピングセンサ M-DW1(終了品)
    代替商品
    代替品番
    代替型番
    備考

    スペック詳細

    項目内容
    品番M-DW1
    型番M-DW1
    中心検出距離45mm
    検出物体3インチ以上の半導体ウェーハ
    (注：8インチ以下のウェーハ検出は、ウェーハピッチ、オリフラ部または表面の状態により、検出に影響が出る可能性があります。)
    対応可能検出面受光方向に反射する面を持つ端面形状の検出面
    (注：研磨により厚みが薄くなったウェーハにて、端面が刃物形状となったものは、検出面から受光方向に光が反射しないために検出が困難な場合があります。)
    検出角度12.5±5°
    (注：ウェーハの回転によるオリフラ部の最大振れ角度は約±20°となります。)
    ウェーハピッチ3mmピッチ以上で通常感度にて分離検出可能
    (注：8インチウェーハが斜めに挿入されたときの中央付近のピッチです。オリフラ付ウェーハを検出するときのオリフラ部を避けた検出位置では、ウェーハピッチがさらに狭くなり、検出信号が分解できずに連続した幅の広い信号となります。)
    対応カセットSEMI規格FOUPカセット/オープンカセット
    電源電圧12～24V DC±10%　リップルP-P10%以下
    消費電流65mA以下
    出力NPN出力／PNP出力　切換スイッチにて選択

    NPNトランジスタ・オープンコレクタ
    ・最大流入電流：100mA
    ・印加電圧：30V DC以下(出力-0V間)
    ・残留電圧：1V以下(流入電流100mAにて)
    　　 0.4V以下(流入電流16mAにて)

    PNPトランジスタ・オープンコレクタ
    ・最大流出電流：100mA
    ・印加電圧：30V DC以下(出力-+V間)
    ・残留電圧：1V以下(流出電流100mAにて)
    0.4V以下(流出電流16mAにて)
    出力:出力動作入光時ON／非入光時ON　切換スイッチにて選択
    出力:短絡保護装備(自動復帰)
    応答時間500μs以下
    動作表示灯橙色LED(出力ON時点灯)
    安定表示灯緑色LED(安定入光時、安定非入光時点灯)
    タイマ機能約2ms固定オフディレイタイマ装備　有効/無効切換式
    投光停止入力信号条件
    ・投光停止：開放または4～8V
    ・投光：0～3Vまたは9V～+V(26.4V MAX.)
    感度切換入力信号条件
    ・入力OFF：開放または4～8V
    ・入力ON ：0～3Vまたは9V～+V(26.4V MAX.)
    感度設定方法背面ティーチング：本体感度設定ボタンにて実行
    検出感度切り換え：本体スイッチ2bitにて4段階または外部入力にて2段階選択式
    耐環境性:保護構造IP20(IEC)
    耐環境性:使用周囲温度0～＋55℃(但し、結露しないこと)、保存時：−10～＋70℃
    耐環境性:使用周囲湿度35～85%RH、保存時：35～85%RH
    耐環境性:使用周囲照度白熱ランプ：受光面照度3,000lx以下、蛍光灯光：受光面照度1,500lx以下
    耐環境性:耐電圧AC1,000V 1分間　充電部一括・ケース間
    耐環境性:絶縁抵抗DC250Vメガにて20MΩ以上　充電部一括・ケース間
    耐環境性:耐振動耐久10～500Hz　複振幅3mm　XYZ各方向2時間
    耐環境性:耐衝撃耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回
    投光素子LED(変調式)
    材質ケース：ABSおよびSUS301、レンズ： アクリル
    ケーブル0.15mm2 5芯キャブタイヤケーブル300mm付
    ケーブル延長0.15mm2 以上のケーブルにて全長10mまで延長可能
    質量本体質量：約75g

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