ウェーハマッピングセンサ M-DW1(終了品)

仕様

(注1)： 指定のない測定条件は、使用周囲温度=+20℃です。

(注2)： 8インチ以下のウェーハ検出は、ウェーハピッチ、オリフラ部または表面の状態により、検出に影響が出る可能性があります。

(注3)： 研磨により厚みが薄くなったウェーハにて、端面が刃物形状となったものは、検出面から受光方向に光が反射しないために検出が困難な場合があります。

(注4)： ウェーハの回転によるオリフラ部の最大振れ角度は約±20°となります。

(注5)： 8インチウェーハが斜めに挿入されたときの中央付近のピッチです。オリフラ付ウェーハを検出するときのオリフラ部を避けた検出位置では、ウェーハピッチがさらに狭くなり、検出信号が分解できずに連続した幅の広い信号となります。

寸法図

単位mm

回路・接続

NPN出力

入・出力回路図

記号・・・
D:電源逆接続保護用ダイオード
Z_D1、Z_D2:サージ電圧吸収用ツェナーダイオード
T_r1:NPN出力トランジスタ
T_r2:PNP出力トランジスタ

接続図

※1

PNP出力

入・出力回路図

記号・・・
D:電源逆接続保護用ダイオード
Z_D1、Z_D2:サージ電圧吸収用ツェナーダイオード
T_r1:NPN出力トランジスタ
T_r2:PNP出力トランジスタ

接続図

※1

取り付け

• ウェーハ端面からセンサ検出面間の距離を45mmになるようにし、さらにウェーハに対して12.5°傾けて検出できるようにセンサを取り付けてください。取り付ける際、M4(長さ16mm)ビスを使用し、締め付けトルク1.2N・m以下としてください。また、ウェーハ位置のばらつき(飛び出しやノッチなど)によって検出距離が変化しますが、5mm程度の範囲内なら安定して検出することができます。

真上から見た図

(注1): ウェーハ中心軸とセンサ軸を一直線上(0°)にすると検出ができません。
センサを取り付けるときは、必ずウェーハに対してセンサを傾けてください。

配線

• 配線作業は、必ず電源を切った状態で行なってください。
• 誤配線をすると、故障の原因となります。
• 電源入力は、定格を超えないよう電源変動をご確認ください。
• 電源に市販のスイッチングレギュレータをご使用になる場合には、必ず電源のフレームグランド(F.G.)端子を接地してください。
• センサ取り付け部周辺にノイズ発生源となる機器(スイッチングレギュレータ、インバータモータなど)をご使用の場合は、機器のフレームグランド(F.G.)端子を必ず接地してください。
• ケーブル延長は、0.15mm²以上のケーブルにて全長10mまで可能です。但しノイズを避けるため、配線はできる限り短くしてください。
• 高圧線や動力線との並行配線や、同一配線管の使用は避けてください。 誘導による誤動作の原因となります。
• 直流電源には、必ず絶縁トランスをご使用ください。オートトランス(単巻トランス)をご使用になると、本体や電源を破損することがあります。
• 使用電源にサージが発生する場合は、発生源にサージアブソーバを接続してサージを吸収してください。

その他

• 電源投入時の過渡的状態（0.5s）を避けてご使用ください。
• 種類にもよりますが、ラピッドスタート式や高周波点灯式の蛍光灯の光は、検出に影響を及ぼすことがありますので、直接入光しないようにご注意ください。
• 蒸気、ホコリなどの多い所での使用は避けてください。
• シンナーなどの有機溶剤や水、油、油脂が直接かからないようにご注意ください。また、雰囲気中での使用も避けてください。
• センサの検出面にホコリなどが付着しないよう、ご注意ください。誤動作の原因となります。付着した場合は、エアーで吹き飛ばすか、柔らかい布などで丁寧に拭き取ってください。

オリフラ付ウェーハを検出する場合

• オリフラ付ウェーハを検出する場合は、オリフラ部以外の所を検出するようにセンサを取り付けてください。さらに、違う角度からウェーハを2回検出するようにロボットアームなどの動作を設定し、検出信号の結果をOR処理してください。

真上から見た図

各部の名称

感度切換設定

• 感度切換スイッチ(2bits)の組み合わせにより、4段階の感度に切り換えることができます。

感度切換スイッチ	感度
	最高感度 (MAX)	窒化膜や酸化膜処理などを行なった反射率の低いウェーハや厚みの薄いウェーハ[0.3～0.4mm(注1)(注2)]に使用します。
	高感度 (HIGH)	最高感度の状態と通常感度の状態の中間です。
	通常感度 (MID)	ポリッシュウェーハなど反射率の高いウェーハや3mmピッチの検出信号用に使用します。
	低感度 (LOW)	設定できる最低感度の状態です。

(注1): 8インチ以下のウェーハ検出は、ウェーハピッチ、オリフラ部または表面の状態により、検出に影響が出る可能性があります。

(注2): 研磨により厚みが薄くなったウェーハにて、端面が刃物形状となったものは、検出面から受光方向に光が反射しないために検出が困難な場合があります。

外部感度切換入力について

• 外部感度切換入力(紫)を0～3Vまたは9V～+V(26.4VMAX.)にすると外部感度切換入力がONとなり、開放または4～8Vにすると外部感度切換入力がOFFとなります。
  外部感度切換入力によって感度を切り換える場合は、感度切換スイッチを下表のように設定してください。

感度切換 スイッチ	外部感度切換入力		感度
	0～3Vまたは 9V～+V (26.4V MAX.)	ON	最高感度 (MAX)
	開放または 4～8V	OFF	通常感度 (MID)
	0～3Vまたは 9V～+V (26.4V MAX.)	ON	高感度 (HIGH)
	開放または 4～8V	OFF	低感度 (LOW)

(注1):感度の詳細については、感度切換設定をご覧ください。

感度設定

• 本製品は、背景の影響を受けにくい光学系となっていますが、小口径ウェーハなどを検出する場合、背景の影響を受けてしまう可能性があります。従って、カセットにウェーハが入っていない状態で背景を検出したり、安定表示灯(緑色)が消灯したりするときは、背景の影響を受けないように感度設定が必要です。但し、感度設定を行なうと感度が下がります。
• 設定された感度はEEPROMに記憶されますので、電源を再投入しても再設定する必要はありません。但し、EEPROMには寿命があり、書き込み保証回数は10万回までですのでご注意ください。

投光停止機能について

• 外部投光停止入力(桃)を0～3Vまたは9V～+V(26.4V MAX.)にすると、投光が停止します。この場合、出力は非入光状態となります。

タイムチャート

タイマ機能について

タイムチャート

タイマ時間：T=約2ms

検出信号について

検出信号幅

• センサによって出力される検出信号は、下記のようになります。

1. ウェーハの厚みよりも大きい幅の信号が出力されます。
2. 検出信号幅は、検出端面の光反射率によっても変化します。
   高反射率(ポリッシュ、アルミ蒸着など): 検出信号幅大
   例): ウェーハ厚み t＝0.6mm → 検出信号幅 約1.5mm
   低反射率(窒化膜、酸化膜処理など): 検出信号幅小
   例): ウェーハ厚み t＝0.6mm → 検出信号幅 約1.1mm
3. 検出信号幅は、検出距離や検出角度によっても変化します。

• 上記より、センサの検出信号からウェーハ位置を読み取る場合は、応答時間を考慮し、信号のON領域の中央位置を算出してください。

狭ピッチ検出信号幅

• 「オリフラ付ウェーハを検出する場合」で、ウェーハのオリフラ部を避けた位置にセンサを取り付けると、カセット内でのクロス状態のピッチが下図のように変化します。

• ウェーハサイズにより、ピッチを計算したものが下表となります。

• 左図のように、クロス状態のピッチが小さくなるため、反射率の高いウェーハに必要なピッチ分解能力(限界値3mm)を下まわってしまい、2枚の検出信号が分離されずにつながる可能性があります。
  また検出信号は、感度設定やウェーハの光反射率または検出状態(検出距離や検出角度)によっても変化します。
  従って、ウェーハが斜めに挿入されていると、狭ピッチ側は、2枚重なったようになりますので、検出信号が連続する場合と分離する場合があります。
• カセット内に入ったオリフラ付ウェーハは、オリフラ部の位置によって2回検出のうち1回はオリフラ部をセンサが通過し、検出できない場合があります。
  従って、ウェーハが斜めに挿入されていると分離した検出信号が出力されない場合があります。そのとき、検出信号から演算したウェーハ位置の情報は、必ず異常状態となります。