ファイバ条件検索
検出形態や検出距離、用途など、さまざまな条件から目的にあったファイバを絞り込み！
検索した商品で比較表も作成できます。
基本情報
耐真空ファイバの常識を覆す One Touch 1秒※取り付け
※フランジへのファイバ取り付け1本あたりの時間
ネジ締め方式
- 手袋をしながらのネジ締め取り付けは大変！
- 小さな部品は紛失が心配
- 締め付け過ぎによる素線の割れ／折れが発生
ワンタッチ方式
- ワンタッチ取り付けで作業時間と工数を大幅削減
- フランジにファイバを挿し込むだけのシンプルな施工
- 工具レスでトルク管理などが不要の簡単取り付け
※ジョイント金具が保持金具にはまる「抜け防止構造」です。
従来のファイバ導入部
- ファイバ1本ずつに導入部の穴加工が必要
- 工具や手を入れるスペースが必要
耐真空フランジのファイバ導入部
- ファイバ8本の取り付けでも、穴加工は1箇所でOK、加工費とリークの心配も1/8に
- 集約して設置でき導入部の省スペース化を実現
フランジ内部にガラス素線を内蔵するリーク封止構造のため、光のみを真空側へ伝達します。
ファイバを未接続でもリーク量は変わりません。
※ 4CH/1CHフランジリーク量：1.0×10-10Pa・m3/s〔He〕以下
ロボットハンド上でのガラス着座検出
半導体ウェーハ検出
ガラス通過検知
ガラス有無検知
お客様の製品品質向上、工数削減のために
開発、製造、品質管理、梱包、出荷にいたるまで、徹底的に管理された国内自社工場で一貫生産を行なっています。
真空ベーキングでアウトガスを削減
真空側ファイバとフランジは部品洗浄・ベーキング処理した上で密閉パックし、二重梱包で出荷しています。
ファイバ長変更に対応
ファイバの長さを100mm刻みで変更するセミカスタムに対応します。投・受光側で長さを変えることも可能です。
お気軽にご相談ください。
>>ファイバのセミカスタム
種類・価格
耐真空ファイバ 商品構成
耐真空透過型ファイバ(2本セット)
大気側ファイバは、別売です。別途ご購入ください。
| 種類 | 先端形状(mm) | 型式名 | 標準価格 <税別> | 曲げ半径 (mm) | ファイバ長 | 光軸径 (mm) | 使用 周囲 温度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 耐 真 空 | 耐熱300℃、 レンズ(FV-LE1/SV1/SV2)装着可  | FT-40V | 70,800円 | R25 | 1m(注1) | ø1.3 | -30～ +300℃ |
(注1):フリーカットタイプではありません。ファイバ長を100mm刻みで変更したタイプをセミカスタム品として対応いたします。詳細については、お問い合わせください。
・透過型ファイバ用のレンズをご用意しております。詳しくはオプションページをご参照ください。
>>オプションページへ
・検出距離については「デジタルファイバセンサ FX-550/FX-550L ファイバ一覧 「デジタルファイバセンサ FX-500 Ver.2 ファイバ一覧」 「デジタルファイバセンサ FX-100 ファイバ一覧 」の各ページをご参照ください。
耐真空反射型ファイバ
大気側ファイバは、別売です。別途ご購入ください。
| 種類 | 先端形状(mm) | 型式名 | 標準価格 <税別> | 曲げ半径 (mm) | ファイバ長 | 使用 周囲 温度 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 耐 真 空 | 長距離 反射型 | 耐熱300℃、角型ヘッド | FD-KZ50V | 83,000円 | R25 | 1m(注1) | -30～ +300℃ |
| 限定 反射型 | 耐熱300℃、ガラス基板検出 | FD-L10V | 101,300円 | 3m(注1) | |||
(注1):フリーカットタイプではありません。ファイバ長を100mm刻みで変更したタイプをセミカスタム品として対応いたします。詳細については、お問い合わせください。
・検出距離については「デジタルファイバセンサ FX-550/FX-550L ファイバ一覧 「デジタルファイバセンサ FX-500 Ver.2 ファイバ一覧」 「デジタルファイバセンサ FX-100 ファイバ一覧 」の各ページをご参照ください。
大気側ファイバ(2本セット)
| 種類 | 先端形状(mm) | 型式名 | 標準価格 <税別> | 曲げ半径 (mm) | ファイバ長 | フリーカット | 使用 周囲 温度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 大 気 側 |  |  FT-J9 | 3,700円 | R4 耐屈曲 | 2m(注1) | ○(注2) | -30～ +80℃ |
(注1):ファイバ長を1m刻みで変更したタイプをセミカスタム品として対応いたします。詳細については、お問い合わせください。
(注2):フリーカットタイプのファイバは、末端部の処理によっては検出距離が最大20%短くなる場合がありますのでご注意ください。
・以下のマークは、折れない(曲げ半径：R10mm、往復曲げ：180°)、曲がる(曲げ半径：R4mm以下)を兼ね備えたファイバです。
耐真空フランジ
適合ファイバは、FT-40V、FD-KZ50V、FD-L10V、FT-J9です。
| 品名 | 型式名 | 内容 | 標準価格 <税別> | |
|---|---|---|---|---|
| 耐真空フランジ 1CH | FV-FR1 |  | 大気側と真空側をアイソレーションします。 真空槽壁(チャンバ)の推奨板厚 ・FV-FR1の場合：3.0～40.0mm。(注1) | 67,100円 |
| 耐真空フランジ 4CH | FV-FR4 |  | 大気側と真空側をアイソレーションします。 真空槽壁(チャンバ)の推奨板厚 ・FV-FR4の場合：3.0mm以上。(注2) | 219,600円 |
(注1):推奨板厚以外の真空槽にはFV-FR1を取り付けられませんので、事前に充分ご確認ください。
(注2):真空槽壁が厚すぎると真空側ファイバにFV-FR4を取り付けられない場合があります。その際は、真空側ファイバとFV-FR4を接続した状態で設置してください。
耐真空フランジ 主な仕様
| 型式名 | FV-FR1 | FV-FR4 |
|---|---|---|
| 適合ファイバ | FT-40V、FD-KZ50V、FD-L10V、FT-J9 | |
| リーク量 | 1.0×10−10Pa・m3/s以下(※Heデテクタにて) | |
| 使用周囲温度 | −30～＋120℃ (保存時も同じ。高湿度環境では＋40℃まで。但し、結露・氷結しないこと。) | |
| 使用周囲湿度 | 35～85％RH(保存時も同じ。) | |
| 締め付け強度 | ナット14.7N・m以下(M14ナット部) | 9.8N・m以下(M8ネジ) |
| 引っ張り強度 | 20N以下(大気側/真空側ファイバジョイント部) | |
| Oリングサイズ | V15 | V40 |
| 重量 | 約100g | 約410g |
| 材質 | 本体：SUS303、保持金具：SUS301、 ファイバ部：石英ガラス、Oリング：フッ素ゴム | |
付属品を別途お求めになる場合の型式名と標準価格<税別>
•FD-KZ50V用取付金具
MS-FD-2：650円
寸法図
単位mm
FD-KZ50V
耐真空長距離反射型ファイバ
付属取付金具(MS-FD-2)装着図
FD-L10V
耐真空限定反射型ファイバ
FT-40V
耐真空透過型ファイバ
FT-J9
大気側ファイバ(別売)
FV-FR1
耐真空フランジ 1CH(別売)
FV-FR4
耐真空フランジ 4CH(別売)
