表示一体型デジタル流量センサ [気体用] FM-200(終了品)
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受注終了
終了時期
2022年07月31日
代替商品のご案内や終了商品の詳細につきましては、下記をご覧ください。
受注終了情報

仕様
個別仕様
種類 | 樹脂ボディタイプ | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
型式名 | FM-252-4(-P) | FM-213-4(-P) | FM-253-4(-P) | FM-214-4(-P) | FM-254-8(-P) | FM-215-8(-P) | |
フルスケール 流量(注1) | 500 mℓ/min. | 1,000 mℓ/min. | 5 ℓ/min. | 10 ℓ/min. | 50 ℓ/min. | 100 ℓ/min. | |
瞬 時 流 量 | 表示範囲 (注2) | -550~+550 mℓ/min. | -1,100~+1,100 mℓ/min. | -5.5~+5.5 ℓ/min. | -11~+11 ℓ/min. | -55~+55 ℓ/min. | -110~+110 ℓ/min. |
設定・表示 分解能 | 1mℓ/min. | 0.01ℓ/min. | 0.1ℓ/min. | ||||
積 算 流 量 | 表示範囲 (注2) | ±9999999mℓ | ±99999.99ℓ | ±999999.9ℓ | |||
設定・表示 分解能 | 1mℓ | 0.01ℓ | 0.1ℓ | ||||
規定積算値 | 5mℓ | 10mℓ | 0.05ℓ | 0.1ℓ | 0.5ℓ | 1ℓ | |
接続口径 | ø4ワンタッチ | ø8ワンタッチ | |||||
質量 | 本体質量:約50g、 梱包質量:約115g | 本体質量:約70g、 梱包質量:約135g |
種類 | アルミボディタイプ | ||||
---|---|---|---|---|---|
型式名 | FM-255-AR2(-P) | FM-255-AG2-P | FM-216-AR2(-P) | FM-216-AG2-P | |
フルスケール 流量(注1) | 500ℓ/min. | 1,000ℓ/min. | |||
瞬 時 流 量 | 表示範囲 (注2) | -550~+550ℓ/min. | -1,100~+1,100ℓ/min. | ||
設定・表示 分解能 | 1ℓ/min. | ||||
積 算 流 量 | 表示範囲 (注2) | ±9999999ℓ | |||
設定・表示 分解能 | 1ℓ | ||||
規定積算値 | 5ℓ | 10ℓ | |||
接続口径 | Rc1/2めねじ | G1/2めねじ | Rc1/2めねじ | G1/2めねじ | |
質量 | 本体質量:約155g、梱包質量:約220g |
共通仕様
種類 | NPN出力タイプ | PNP出力タイプ | |
---|---|---|---|
型式名 | FM-2□ | FM-2□-P | |
適合規制 | EMC指令、RoHS指令 | ||
定格圧力範囲 | -0.09~+0.7MPa | ||
耐圧力 | 1MPa | ||
適用流体 | 清浄空気(注3)、圧縮空気(注3)、窒素ガス | ||
電源電圧 | 12~24V DC±10% リップルP-P10%以下 | ||
消費電流 | 通常モード時:60mA以下、ECOモード時:40mA以下 | ||
比較出力 (比較出力1、 比較出力2) | NPNトランジスタ・オープンコレクタ ・最大流入電流:50mA以下 ・印加電圧:26.4V DC以下 (比較出力-0V間) ・残留電圧:2.4V以下 (流入電流50mAにて) | PNPトランジスタ・オープンコレクタ ・最大流出電流:50mA以下 ・印加電圧:26.4V DC以下 (比較出力-+V間) ・残留電圧:2.4V以下 (流出電流50mAにて) | |
出力モード | 出力OFFモード、ウィンドウコンパレータモード、ヒステリシスモード、 積算出力モード、積算パルス出力モード | ||
短絡保護 | 装備 | ||
応差 (ヒステリシス) | ウィンドウコンパレータモード:約1~8%F.S.で可変(出荷時:約1%F.S.)、 ヒステリシスモード:可変(最小1digit) | ||
応答時間 | 50ms、80ms、120ms、200ms、400ms、800ms、1,500msから選択可能 | ||
アナログ電圧出力 | 出力電圧:1~5V/出力インピーダンス:約1kΩ | ||
繰り返し精度 | ±1%F.S.以内 | ||
精度保証範囲 (注4) | 双方向設定時:-100~-3%F.S.、+3~+100%F.S. 片方向設定時:+3~+100%F.S. | ||
外部入力 | ON電圧:0~+0.4V OFF電圧:+5V~+Vまたは開放 入力時間:80ms以上 | ON電圧:+5V~+V OFF電圧:0~+0.6Vまたは開放 入力時間:80ms以上 | |
直線性(表示、アナログ出力) | ±3%F.S.以内 (使用周囲温度+25℃、二次側を大気開放にて) | ||
表示 | 4桁+4桁2色LCD表示 (表示更新周期:250ms、500ms、1,000msから選択可能) | ||
耐 環 境 性 | 保護構造 | IP40(IEC) | |
使用周囲 温度 | 0~+50℃(但し、結露しないこと)、保存時:-10~+60℃ | ||
使用周囲 湿度 | 35~90%RH、保存時:35~90%RH | ||
耐電圧/ 絶縁抵抗 | AC1,000V 1分間 充電部一括・ケース間 (但し、アルミボディタイプを除く)/ DC500Vメガにて10MΩ以上 充電部一括・ケース間 (但し、アルミボディタイプを除く) | ||
耐振動/ 耐衝撃 | 耐久10~150Hz 複振幅0.75mmまたは最大加速度49m/s2 XYZ各方向2時間/ 耐久100m/s2(約10G) XYZ各方向3回 | ||
温度特性 | ±0.2%F.S./℃以内 (+25℃を基準として+15~+35℃の使用周囲温度範囲にて) | ||
圧力特性 | ±5%F.S.以内 (-0.09~+0.7MPa、+25℃、但し、二次側を大気開放にて) | ||
ケースアース方式 | フローティング(注5) | ||
材質 | 本体ケース:ABS、ボディ:ポリアミド(アルミボディタイプはアルミ)、 スイッチ部:EPDM、表示部:アクリル、 取付ネジ部(樹脂ボディタイプ):黄銅、整流板・ポートフィルタ:ステンレス(接ガス部に使用)、 センサチップ:シリコン、ガスケット:フッ素ゴム | ||
接続方式 | コネクタ接続 | ||
配線長 | 0.3mm2以上のケーブルにて全長10mまで可能 | ||
付属品 | CN-F15-C1(コネクタ付ケーブル1m):1本 |
(注1): +20℃、1気圧(101kPa)での体積流量に換算した値です。
(注2): 表示流量範囲は、流れ方向設定で双方向に設定した場合です。流れ方向設定を片側順方向または片側逆方向に設定した場合、表示流量範囲のマイナス側はフルスケール(F.S.)の10%までの表示となります。
(注3): 清浄空気はJIS B 8392-1.1.1~5.6.2、圧縮空気はJIS B 8392-1.1.1~1.6.2の規格に適合した空気です。
(注4): 精度保証範囲外のゼロ点付近では、瞬時流量値が強制的にゼロを表示する場合や、積算流量表示値がカウントアップされない場合、および積算パルス出力が出力されない場合がありますので、ご注意ください。
(注5): アルミボディタイプにはバリスタ(制限電圧約40V)が接続されていますので、センサの定格電圧以上の電圧を印加しないでください。
寸法図
単位mm
FM-2□-4(-P)
センサ
FM-2□-8(-P)
センサ
FM-2□-A□(-P)
(注1):FM-2□-AG2-Pは、G1/2めねじです。
CN-F15-C1
コネクタ付ケーブル(付属)
MS-FM2-1
センサ取付金具(別売)
材質:SPCC(ニッケルメッキ)
M3(長さ6mm)座金組込ビス2本付属
装着図
図は、FM-252-4に取り付けた場合です。
MS-FM2-2
センサ取付金具(別売)
材質:SPCC(ニッケルメッキ)
M3(長さ6mm)座金組込ビス2本付属
装着図
図は、FM-255-AR2に取り付けた場合です。
回路・接続
FM-2□
NPN出力タイプ
入・出力回路図
(注1): アルミボディタイプはセンサの絶縁破壊防止のため、内部電源回路と金属ボディ間にバリスタ(制限電圧約40V)が接続されていますので、金属ボディを電源の+Vまたは0Vに接続された装置のフレームグランド(F.G.)に接地してください。また、内部電源回路と金属ボディの間での耐電圧試験・絶縁抵抗試験は行なわないでください。
(注2): アナログ電圧出力には、短絡保護回路を装備していません。電源あるいは容量負荷を直接接続しないでください。
接続図
(注1): CH2を比較出力2として使用する場合
(注2): CH2を外部入力として使用する場合
アナログ電圧出力


FM-2□-P
PNP出力タイプ
入・出力回路図
(注1): アルミボディタイプはセンサの絶縁破壊防止のため、内部電源回路と金属ボディ間にバリスタ(制限電圧約40V)が接続されていますので、金属ボディを電源の+Vまたは0Vに接続された装置のフレームグランド(F.G.)に接地してください。また、内部電源回路と金属ボディの間での耐電圧試験・絶縁抵抗試験は行なわないでください。
(注2): アナログ電圧出力には、短絡保護回路を装備していません。電源あるいは容量負荷を直接接続しないでください。
接続図
(注1): CH2を比較出力2として使用する場合
(注2): CH2を外部入力として使用する場合
アナログ電圧出力
<双方向検出の場合>


検出特性
圧力損失特性図(代表例)








使用上のご注意
- 本製品は、人体保護用の検出装置としては使用しないでください。
- 人体保護を目的とする検出にはOSHA、ANSI、およびIEC等の各国の人体保護用に関する法律 および規格に適合する製品をご使用ください。
- 本製品は、空気・窒素用です、その他の流体では精度の保証ができませんので、使用しないでください。
- 検出部に異物が混入すると製品が破損するおそれがありますので、ご注意ください。
各部の名称
(注1): 順方向表示の矢印の向きは、流れ方向を双方向または片側順方向に設定した場合、流量の順方向を示します。また、片側逆方向に設定した場合は、順方向表示と逆の向きが流量の順方向となります。
(注2): FM-2□-4(-P)にはφ4のワンタッチ継手、FM-2□-8(-P)にはφ8のワンタッチ継手が装備されています。また、アルミボディタイプにはワンタッチ継手は装備されていません。
端子配列図
本製品の接続コネクタ部の端子配列(センサ本体側)
コネクタピンNo. | コネクタ付ケーブルのリード線色 | 端子名 |
---|---|---|
[1] | 茶 | +V |
[2] | 黒 | CH1(比較出力1) |
[3] | 白 | CH2(比較出力2/外部入力) |
[4] | 灰 | アナログ電圧出力 |
[5] | 青 | 0V |
取り付け
- 本製品は上下左右どの方向にも取り付けることができます。
水平取り付け
- M3ビスを使用し、締め付けトルクは0.5N・mとしてください。
<樹脂ボディタイプ>
垂直取り付け
- M3ビスを使用し、締め付けトルクは0.5N・mとしてください。


センサ取付金具を使用する場合
- 本製品をセンサ取付金具MS-FM2-1(別売)またはMS-FM2-2(別売)に取り付ける場合は、センサ取付金具に付属のM3(長さ6mm)座金組込ビスを使用してください。その際の締め付けトルクは、0.5N・mとしてください。
また、センサ取付金具を取付面に取り付ける場合は、M3ビスを使用してください。
MS-FM2-1を使用

MS-FM2-2を使用

配管
- ワンタッチ継手タイプの製品に挿入するチューブは、下表に規定されたチューブを使用してください。
チューブ材質 | チューブ径(mm) | 寸法許容値 |
---|---|---|
ポリアミド管 | φ4、φ8 | ±0.1mm以内 |
ポリウレタン管 | φ4 | ±0.1mm以内 |
φ8 | +0.1-0.15mm以内 |
- チューブを挿入した後、チューブが抜けないことを確認してから本製品を使用してください。
- コンプレッサからの圧縮空気には、ドレン(水、酸化オイル、異物など)が含まれていますので、本製品の一次側(上流)にフィルタおよびエアドライヤ、オイルミストフィルタ(マイクロエレッサ)を取り付けてください。
尚、本製品内のメッシュ(金網)は、配管中の流れを整流するためのもので、異物を取り除くためのものではありません。必ず本製品の一次側にフィルタを取り付けてください。
- 本製品の一次側にバルブを使用する場合は、禁油仕様のバルブを使用してください。グリスまたはオイルなどの飛散により、本製品が誤動作したり破損するおそれがあります。
- 本製品を吸着確認などで使用する場合は、異物・水分の吸入を防止するために吸入側に必ずろ過度10μm以下のエアフィルタを取り付けてください。
また、大気の露点と本製品の周囲温度を考慮して、配管内で結露しない条件で使用してください。 - アルミボディタイプに市販の継手を取り付ける場合、本体の金属部にスパナを掛けて、締め付けトルク16~18N・mで締め付けてください。規定以上のトルクで締め付けると、市販の継手または本体が破損するおそれがあります。
- 配管の際には、シールテープや接着剤などの異物が混入しないようにご注意ください。異物混入により、本製品が誤動作したり破損するおそれがあります。
- 二次側(下流)を大気開放で使用する場合は、必ず継手を取り付けてください。継手を取り付けないと、本製品内のポートフィルタが外れる場合があります。
配線
- 配線作業は、必ず電源を切った状態で行なってください。
- 誤配線をすると、故障の原因となります。
- 定格範囲以上の電圧の印加や、交流電源に接続すると、破損や焼損のおそれがありますのでご注意ください。
- 電源に市販のスイッチングレギュレータをご使用になる場合には、必ず電源のフレームグランド(F.G.)端子を接地してください。
- センサ取り付け部周辺にノイズ発生源となる機器(スイッチングレギュレータ、インバータモータなど)をご使用の場合は、機器のフレームグランド(F.G.)端子を必ず接地してください。
- 高圧線や動力線との並行配線や、同一配線管の使用は避けてください。誘導による誤動作の原因となります。
- ケーブル延長は、0.3mm2以上のケーブルにて全長10mまで可能です。
- ケーブルの引き出し部に無理な曲げ、引っ張りなどのストレスが加わらないようにしてください。
その他
- 本製品は計量法に適合していませんので、商取引には使用しないでください。
- 耐圧力を超える圧力を印加しないでください。
- 電源投入時の過渡的状態(約5s)を避けてご使用ください。
- 強い電磁界内では、性能が満足できない場合があります。
- 表示、アナログ電圧出力の精度は、温度特性の他に通電による自己発熱の影響も受けます。ご使用時には、スタンバ イ時間(通電後5分以上)を設けるようにしてください。
- 屋外で使用しないでください。
- 蒸気、ホコリなどの多い所、腐食性ガスなどの雰囲気での使用は避けてください。
- シンナーなどの有機溶剤や強い酸、アルカリ、水、油、油脂がかからないようにご注意ください。
- 本製品を落下させたり、強い衝撃を与えたりしないでください。故障の原因となります。
- 液晶表示部品の生産中止に伴い、2018年10月生産分から光漏れの少ない液晶表示部品に変更しています。従来品と視野角が異なり、液晶表示部の見え方が異なります。