LED型晶圓校準感測器 HD-T1

種類

檢測頭

(註1)：出廠時固定於安裝基座狀態下的值。

控制器

檢測頭與控制器必須配套使用。

規格

檢測頭

(註1)： 無指定的測量條件為使用環境溫度＝+20℃。
(註2)： 出廠時固定於安裝基座狀態下的值。

控制器

(註1)： 無指定的測量條件為使用環境溫度＝+20℃。
(註2)： 解析度為模擬輸出的峰值～峰值距離換算值(20MHz以下帶域)。
(註3)： 檢測頭和控制器組合後測定時的代表示例。

尺寸圖

• 單位mm

HD-T1030

檢測頭

HD-T1C

控制器

電路／連接

輸入・輸出電路圖(控制器)

端子排列圖(控制器)

・檢測頭與控制器必須配套使用。

安裝

• 安裝檢測頭時，如下圖所示，使用2個M4內六角螺栓(請另行準備)，以0.5N·m以下的扭矩緊固。
• 請勿拆下固定投、受光器和安裝基座的固定螺絲。否則，輸出值會變化。
• 請勿使用投、受光器側面的安裝孔以螺絲安裝。

(1)按箭頭方向推入擋塊(鎖定)後，將安裝部前部嵌入35mm寬的DIN導軌中。

(2)將安裝部後部壓住35mm寬的DIN導軌並嵌入其中。

控制器
<使用DIN導軌時>

• 使用螺絲進行安裝時，請使用M4盤頭螺絲，並將緊固扭矩設為1.2N·m以下。

配線

• 控制器的類比輸出未裝備短路保護電路。請勿直接連接電源或容性負載。
• 配線時請注意不要對連接器施加靜電。否則會導致故障。
• 配線錯誤會導致故障。
• 控制器的電線延長時，可通過截面積為0.3mm2以上的電線將全長延長至3m。
  檢測頭電線的長度不能變更。
• 請勿對電線引出部施加強行彎曲或拉曳等應力。否則會導致斷線。
• 直流電源請務必使用絕緣變壓器。使用自動變壓器(自耦變壓器)時，有時會損壞本體和電源。
• 使用電源發生電湧時，請將發生源與電湧吸收器連接，以吸收電湧。

其它

• 使用時，請避開電源接通時的過渡狀態(0.5s)。
• 本產品輸出LED光的受光量。檢測寬度中心部分和周圍部分的光強度不同，因此，不能保證尺寸精度，敬請注意。
• 水、油、指紋等會使光線折射、灰塵和垃圾等會阻斷光線。請避免讓檢測頭的投、受光面粘附這些物質。如有附著，請用乾淨的軟布或擦鏡頭紙等擦拭乾淨。
• 測定物體為鏡面體或透明體時，可能無法正確測定，敬請注意。