種類
接觸式
種類 | 前端形狀 (mm) | 型號 | 上 行 | 彎曲半徑 (mm) | 光纖長度 | 自由裁切 | 保護 構造 | 使用 環境 溫度 |
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下 行 | 內容 |
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液 面 檢 測 | 耐熱125℃ 氟化樹脂塗層
| FD-F8Y | 保護管 R40 光纖 R15 | 2m (註1) | ○ | IP68 | -40~ +125℃ |
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ø6mm形狀 保護管: 氟化樹脂、長1,000mm (不可裁切) 不接觸液面時:入光、接觸液面時:非入光 |
耐熱105℃ 氟化樹脂塗層
| FD-HF40Y (註2) | 保護管 R20 光纖 R10 | 2m | ○ | IP68G | -40~ +105℃ |
ø4mm形狀 保護管: 氟化樹脂、長500mm (可裁切) 不接觸液面時:入光、接觸液面時:非入光 |
漏 液 檢 測 | 符合SEMI S2 (註4) W20×H30×D10
| FD-F71 | R4 耐彎曲 | 5m | ○ | IP67 | -20~ +60℃ |
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漏液檢測 無漏液時:入光、有漏液時:非入光 適用放大器:FX-500/FX-550系列 |
(註1):從插入放大器一側的端部表面至1,000mm的這段距離為可進行裁切的範圍。
(註2):備有防止液體滲入用接頭、保護管延長用接頭、光纖安裝用接頭。詳細請參考「光纖配件」頁面。
(註3):2014年2月以後生產的產品規格有所變更。
(註4):設計時已考慮到SEMI S2對於環境測試的要求,所以請按照相關標準、法規和規定進行設計和使用,以符合客戶的最終系統的標準。
・關於檢測距離,請參考「數位光纖感測器 FX-550 光纖一覽」「數字光纖感測器 FX-500 Ver.2 光纖一覽」「數位光纖感測器 FX-100 光纖一覽 」的相關頁面。
・下方標誌為:兼具不折斷(彎曲半徑:R10mm、反復彎曲:180°)、可彎曲(彎曲半徑:R4mm以下)的光纖。
管道安裝式
種類 | 前端形狀 (mm) | 型號 | 上 行 | 彎曲半徑 (mm) | 光纖長度 | 自由裁切 | 保護 構造 | 使用 環境 溫度 |
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下 型 | 內容 | | | | |
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液 面 檢 測 | 標準 W25×H13×D20
| FD-F41 | R10 | 2m | ○ | - | -40~ +100℃ |
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適用管道直徑:外徑ø6~ø26mm的透明管 [PVC(氯乙烯)、氟化樹脂、聚碳酸酯、丙烯、玻璃,壁厚1~3mm] 無液體時:入光、有液體時:非入光 |
PFA制壁厚1mm管子用 W25×H13×D20
| FD-F4 | R10 | 2m | ○ | - | -40~ +100℃ |
適用管道直徑:外徑ø6~ø26mm的透明管 [PFA(氟化樹脂)或具有同等透明度的管,壁厚1mm] 無液體時:入光、有液體時:非入光 |
液 體 檢 測 | 陣列型光纖 W6.5×H28.3×D17
| FD-FA93 | R4 耐彎曲 | 2m | ○ | IP40 | -40~ +70℃ |
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適用管道直徑:外徑ø8mm以上的透明管(使用附帶的捆紮帶ø8~ø80mm) [PFA(氟化樹脂)、包括半透明] 無液體時:入光、有液體時:非入光 |
符合SEMI S2 (註1) W23×H20×D17
| FT-F93 | 導管部 R20 導線部 R2 耐彎曲 | 2m | ○ | IP40 | -40~ +60℃ |
適用管道直徑:外徑ø3~ø10mm的透明管 [PFA(氟化樹脂)或具有同等透明度的管,壁厚0.3~1mm] 無液體時:非入光、有液體時:入光 適用放大器:FX-500/FX-550系列 |
(註1):設計時已考慮到SEMI S2對於環境測試的要求,所以請按照相關標準、法規和規定進行設計和使用,以符合客戶的最終系統的標準。
・關於檢測距離,請參考「數位光纖感測器 FX-550 光纖一覽」「數字光纖感測器 FX-500 Ver.2 光纖一覽」「數位光纖感測器 FX-100 光纖一覽 」的相關頁面。
・下方標誌為:兼具不折斷(彎曲半徑:R10mm、反復彎曲:180°)、可彎曲(彎曲半徑:R4mm以下)的光纖。
反射型■另行購買附件
•MS-FD-F7-1(FD-F71用SUS安裝件)
•MS-FD-F7-2(FD-F71用PVC安裝件)
MS-FD-F7-1
(FD-F71用SUS安裝件)
MS-FD-F7-2
(FD-F71用PVC安裝件)