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M-DW1｜웨이퍼 맵핑 센서 M-DW1(종료품)

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    품번

    M-DW1

    형번

    M-DW1

    상품

    웨이퍼 맵핑 센서

    상세

    LED식 반사형

    상품명

    		 웨이퍼 맵핑 센서 M-DW1(종료품)
    대체 상품
    대체 품번
    대체 형번
    비고

    상세 스펙

    항목내용
    품번M-DW1
    형번M-DW1
    품명웨이퍼 맵핑 센서
    전체 제품 상세 정보LED식 반사형
    중심 검출 거리45mm
    검출 물체3인치 이상의 반도체 웨이퍼
    (주):8인치 이하의 웨이퍼 검출은 웨이퍼 Pitch, 오리엔테이션 플랫부 또는 표면 상태에 따라 검출에 영향을 줄 가능성이 있습니다.
    대응 가능 검출면수광 방향으로 반사되는 면을 가진 단면 형상의 검출면
    (주):연마로 인해 두께가 얇아진 웨이퍼에서 단면이 칼날 형상으로 된 것은 검출면에서 수광 방향으로 빛이 반사되지 않기 때문에 검출이 곤란한 경우가 있습니다.
    검출 각도12.5±5°
    (주): 웨이퍼 회전으로 인한 오리엔테이션 플랫부의 최대 이탈 각도는 약 ±20°입니다.
    웨이퍼 Pitch3mm Pitch 이상에서 통상 감도로 분리 검출 가능
    (주):8인치 웨이퍼가 비스듬히 삽입되었을 때 중앙 부근의 Pitch입니다. 오리엔테이션 플랫 부속 웨이퍼를 검출할 때 오리엔테이션 플랫부를 비껴간 검출 위치에서는 웨이퍼 Pitch가 더욱 좁아져 검출 신호가 분해되지 않고 폭이 넓고 연속적인 신호가 됩니다.
    대응 카세트SEMI 규격 FOUP 카세트/오픈 카세트
    전원 전압12-24V DC±10%　리플 P-P10% 이하
    소비 전류65mA 이하
    출력NPN 출력／PNP 출력　변환 스위치로 선택

    NPN 트랜지스터 · 오픈 컬렉터
    ・최대 유입 전류 : 100mA
    ・인가 전압 : 30V DC 이하(출력-0V 간)
    ・잔류 전압 : 1V 이하(유입 전류 100mA에서), 0.4V 이하(유입 전류16mA에서)

    PNP 트랜지스터 · 오픈 컬렉터
    ・최대 유출 전류 : 100mA
    ・인가 전압 : 30V DC 이하(출력-+V 간)
    ・잔류 전압 : 1V 이하(유출 전류 100mA에서), 0.4V 이하(유출 전류16mA에서)
    출력:출력 동작입광 시 ON／비입광 시 ON　변환 스위치로 선택
    출력:단락 보호장착(자동 복귀)
    응답 시간500μs 이하
    동작 표시등주황색 LED(출력 ON 시 점등)
    안정 표시등녹색 LED(안정 입광 시, 안정 비입광 시 점등)
    타이머 기능약 2ms 고정 OFF 딜레이 타이머 장착　유효/무효 변환식
    투광 정지 입력신호 조건
    ・투광 정지 : 개방 또는 4-8V
    ・투광 : 0～3V 또는 9V～+V(26.4V MAX.)
    감도 변환 입력신호 조건
    ・입력 OFF : 개방 또는 4-8V
    ・입력 ON : 0～3V 또는 9V～+V(26.4V MAX.)
    감도 설정 방법뒷면 티칭 : 본체 감도 설정 버튼으로 실행
    검출 감도 변환 : 본체 스위치 2bit로 4단계 또는 외부 입력으로 2단계 선택식
    내환경성:보호 구조IP20(IEC)
    내환경성:사용 주위 온도0～+55℃(단, 결로되지 않을 것), 보관 시 : -10～+70℃
    내환경성:사용 주위 습도35～85%RH, 보관 시 : 35～85%RH
    내환경성:사용 주위 조도백열 램프: 수광면 조도 3,000lx 이하, 형광등 조명 : 수광면 조도 1,500lx 이하
    내환경성:내전압AC 1,000V 1분간　충전부 전체 · 케이스 간
    내환경성:절연 저항DC 250V 절연 저항계에서 20MΩ 이상　충전부 전체 · 케이스 간
    내환경성:내진동내구 10～500Hz　복진폭 3mm　XYZ 각 방향 2시간
    내환경성:내충격내구 98m/s2(약 10G) XYZ 각 방향 5회
    투광소자LED(변조식)
    재질케이스 : ABS 및 SUS301, 렌즈 : 아크릴
    케이블0.15mm2 5심 캡타이어 케이블 300mm 부속
    케이블 연장0.15mm2 이상의 케이블로 전체 길이 10m까지 연장 가능
    질량본체 질량 : 약 75g

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