웨이퍼 맵핑 센서 M-DW1(종료품)

사양

(주1) : 지정하지 않은 측정 조건은 사용 주위 온도=+20℃입니다.

(주2) : 8인치 이하의 웨이퍼 검출은 웨이퍼 Pitch, 오리엔테이션 플랫부 또는 표면 상태에 따라 검출에 영향을 줄 가능성이 있습니다.

(주3) : 연마로 인해 두께가 얇아진 웨이퍼에서 단면이 칼날 형상으로 된 것은 검출면에서 수광 방향으로 빛이 반사되지 않기 때문에 검출이 곤란한 경우가 있습니다.

(주4) : 웨이퍼 회전으로 인한 오리엔테이션 플랫부의 최대 이탈 각도는 약 ±20°입니다.

(주5) : 8인치 웨이퍼가 비스듬히 삽입되었을 때 중앙 부근의 Pitch입니다. 오리엔테이션 플랫 부속 웨이퍼를 검출할 때 오리엔테이션 플랫부를 비껴간 검출 위치에서는 웨이퍼 Pitch가 더욱 좁아져 검출 신호가 분해되지 않고 폭이 넓고 연속적인 신호가 됩니다.

치수도

• 단위mm

회로・연결

NPN 출력

입 · 출력 회로도

기호···
D: 전원 역연결 보호용 다이오드
ZD1,ZD2: 서지 전압 흡수용 제너 다이오드
Tr1: NPN 출력 트랜지스터
Tr2: PNP 출력 트랜지스터

연결도

※1

PNP 출력

입 · 출력 회로도

기호···
D: 전원 역연결 보호용 다이오드
ZD1,ZD2: 서지 전압 흡수용 제너 다이오드
Tr1: NPN 출력 트랜지스터
Tr2: PNP 출력 트랜지스터

연결도

※1

설치

• 웨이퍼 단면에서부터 센서 검출면 사이의 거리를 45mm가 되도록 하고, 또한 웨이퍼에 대해 12.5° 기울여 검출할 수 있도록 센서를 설치해 주십시오. 설치 시 M4(길이 16mm) 나사를 사용하고, 조임 토크는 1.2N·m 이하로 설정해 주십시오. 또한 웨이퍼 위치의 편차(돌출 또는 노치 등)에 따라 검출 거리가 변하지만 5mm 정도의 범위 내에서는 안정적으로 검출할 수 있습니다

바로 위에서 본 그림

(주1) : 웨이퍼 중심축과 센서축을 일직선상(0°)으로 하면 검출이 불가능합니다.
센서를 설치할 때는 반드시 웨이퍼에 대한 센서를 기울여 주십시오.

배선

• 배선 작업은 반드시 전원을 끈 상태에서 실행해 주십시오.
• 오배선은 고장의 원인이 됩니다.
• 전원 입력은 정격을 초과하지 않도록 전원 변동을 확인해 주십시오.
• 시중에서 판매하는 스위칭 레귤레이터를 전원에 사용할 경우에는 반드시 전원의 프레임 그라운드(F.G.) 단자를 접지해 주십시오.
• 센서 설치부 주변에 노이즈 발생원이 되는 기기(스위칭 레귤레이터, 인버터 모터 등)를 사용할 경우에는 기기의 프레임 그라운드(F.G.) 단자를 반드시 접지해 주십시오.
• 케이블 연장은 0.15mm² 이상의 케이블로 전체 길이 10m까지 가능합니다. 단, 노이즈를 피하기 위해 가능한 한 짧게 배선해 주십시오.
• 고압선 또는 동력선과의 병행 배선이나 동일한 배선관의 사용은 피하여 주십시오. 유도로 인한 오동작의 원인이 됩니다.
• 직류 전원에는 반드시 절연 트랜스를 사용해 주십시오. 오토 트랜스(단권 트랜스)를 사용하면 본체와 전원을 파손시키는 경우가 있습니다.
• 사용 전원에 서지가 발생할 경우에는 발생원에 서지 흡수기를 연결하여 서지를 흡수해 주십시오.

기타

• 전원 투입 시의 과도적 상태(0.5s)를 피하여 사용해 주십시오.
• 종류에 따라 다르지만 급속 스타트식 또는 고주파 점등식 형광등의 빛은 검출에 영향을 미치는 경우가 있으므로 직접 입광되지 않도록 주의해 주십시오.
• 증기, 먼지 등이 많은 곳에서는 사용을 피하여 주십시오.
• 시너 등의 유기용제나 물, 기름, 유분이 직접 닿지 않도록 주의해 주십시오. 또한 이러한 환경에서는 사용도 피하여 주십시오.
• 센서 검출면에 먼지 등이 부착되지 않도록 주의해 주십시오. 오동작의 원인이 됩니다. 부착된 경우에는 에어로 날리거나 부드러운 천 등으로 조심스럽게 닦아 주십시오.

오리엔테이션 플랫 부속 웨이퍼 검출

• 오리엔테이션 플랫 부속 웨이퍼를 검출할 경우에는 오리엔테이션 플랫부 이외의 부위를 검출하도록 센서를 설치해 주십시오. 또한 다른 각도에서 웨이퍼를 2회 검출하도록 로봇 암 등의 동작을 설정하고 검출 신호 결과를 OR 처리해 주십시오.

바로 위에서 본 그림

각부의 명칭

감도 변환 설정

• 감도 변환 스위치(2bits)를 조합하여 4단계의 감도로 변환할 수 있습니다.

(주1) : 8인치 이하의 웨이퍼 검출은 웨이퍼 Pitch, 오리엔테이션 플랫부 또는 표면의 상태에 따라 검출에 영향을 줄 가능성이 있습니다.

(주2) : 연마로 인해 두께가 얇아진 웨이퍼에서 단면이 칼날 형상으로 된 것은 검출면에서 수광 방향으로 빛이 반사되지 않기 때문에 검출이 곤란한 경우가 있습니다.

외부 감도 변환 입력

• 외부 감도 변환 입력(보라색)을 0～3V 또는 9V～+V(26.4VMAX.)로 하면 외부 감도 변환 입력이 ON되고, 개방 또는 4～8V로 하면 외부 감도 변환 입력이 OFF 됩니다.
  외부 감도 변환 입력을 통해 감도를 변환하는 경우에는 감도 변환 스위치를 아래 표처럼 설정해 주십시오.

(주1) : 감도의 상세한 내용은 감도 변환 설정을 참조해 주십시오.

감도 설정

• 본 제품은 배경의 영향을 쉽게 받지 않는 광학계이지만, 소구경 웨이퍼 등을 검출할 경우 배경의 영향을 받을 가능성이 있습니다. 따라서 카세트에 웨이퍼가 들어오지 않는 상태에서 배경을 검출하거나 안정 표시등(녹색)이 소등될 때는 배경의 영향을 받지 않도록 감도를 설정해야 합니다. 단, 감도를 설정하면 감도가 떨어집니다.
• 설정된 감도는 EEPROM에 기억되므로 전원을 재투입해도 재설정할 필요가 없습니다. 단, EEPROM에는 수명이 있습니다. 입력 보증 횟수는 10만 회이므로 주의해 주십시오.

투광 정지 기능

• 외부 투광 정지 입력(분홍색)을 0～3V 또는 9V～+V(26.4V MAX.)로 하면 투광이 정지됩니다. 이 경우, 출력은 비입광 상태가 됩니다.

타임 차트

타이머 기능

타임 차트

타이머 시간: T=약 2ms

검출 신호

검출 신호폭

• 센서에 따라 출력되는 검출 신호는 아래와 같습니다.

1. 웨이퍼 두께보다 큰 폭의 신호가 출력됩니다.
2. 검출 신호폭ㄱ은 검출 단면의 빛 반사율에 따라서도 변합니다.
   고반사율(폴리시, 알루미늄 증착 등) : 검출 신호폭 대
   예) : 웨이퍼 두께 t＝0.6mm → 검출 신호폭 약 1.5mm
   저반사율(질화막, 산화막 처리 등) : 검출 신호폭 소
   예) : 웨이퍼 두께 t＝0.6mm → 검출 신호폭 약 1.1mm
3. 검출 신호폭은 검출 거리나 검출 각도에 따라서도 변합니다.

• 위와 같이 센서의 검출 신호를 통해 웨이퍼 위치를 판독하는 경우에는 응답 시간을 고려하여 신호의 ON 영역의 중앙 위치를 산출해 주십시오.

• '오리엔테이션 플랫 부속 웨이퍼 검출'의 경우, 웨이퍼의 오리엔테이션 플랫부를 비껴간 위치에 센서를 설치하면 카세트 안에서 크로스 상태의 Pitch가 아래 그림처럼 변합니다.

• 아래 표는 웨이퍼 사이즈에 따라 Pitch를 계산한 것입니다.

• 왼쪽 그림과 같이 크로스 상태의 Pitch가 작아지기 때문에 반사율이 높은 웨이퍼에 필요한 Pitch 분해 능력(한계값 3mm)을 밑돌아, 2개의 검출 신호가 분리되지 않고 이어질 가능성이 있습니다.
  또한 검출 신호는 감도 설정이나 웨이퍼의 광반사율 또는 검출 상태(검출 거리나 검출 각도)에 따라 변합니다.
  따라서 웨이퍼가 비스듬히 삽입되어 있으면 협 Pitch 측은 2장 겹치게 되므로, 검출 신호가 연속되는 경우와 분리되는 경우가 있습니다.
• 카세트 안으로 들어간 오리엔테이션 플랫 부속 웨이퍼는 오리엔테이션 플랫부의 위치에 따라 2회 검출 중 1회는 오리엔테이션 플랫부를 센서가 통화해서 검출할 수 없는 경우가 있습니다.
  따라서 웨이퍼가 비스듬히 삽입되어 있으면 분리한 검출 신호가 출력되지 않는 경우가 있습니다. 이때 검출 신호를 통해 연산된 웨이퍼 위치의 정보는 반드시 이상 상태가 됩니다.