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HD-T1C｜LED식 웨이퍼 얼라이먼트 센서 HD-T1

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EU RoHS 지침 2011/65/EU 6개 물질 및 EU RoHS 지침 2015/863/EU 4개 물질의 비함유 규정에 적합하며.

품번

HD-T1C

형번

HD-T1C

상품

LED식 웨이퍼 얼라이먼트 센서

상세

컨트롤러

상품명

 LED식 웨이퍼 얼라이먼트 센서 HD-T1

기술·자료·견적

※제품의 사양 및 디자인은 개선 등을 위해 예고 없이 변경될 수 있습니다.

상세 스펙

제품의 사양 및 디자인은 개선 등을 위해 예고 없이 변경될 수 있습니다.
항목내용
품번HD-T1C
형번HD-T1C
품명LED식 웨이퍼 얼라이먼트 센서
전체 제품 상세 정보컨트롤러
내환경성:보호 구조IP40(IEC)
내환경성:사용 주위 온도0～+40℃(단, 결로되지 않을 것), 보관 시 : -20～+70℃
내환경성:사용 주위 습도35～85%RH, 보관 시 : 35～85%RH
내환경성:내전압AC 1,000V 1분간　충전부 전체 · 케이스 간
내환경성:절연 저항DC 250V 절연 저항계에서 20MΩ 이상　충전부 전체 · 케이스 간
내환경성:내진동내구 10～150Hz　복진폭 0.75mm　XYZ 각 방향 2시간
내환경성:내충격내구 490m/s2(약 50G) XYZ 각 방향 3회
재질본체 케이스 : 내열 ABS, 커넥터 커버부 : 내열 ABS, 볼륨 커버부 : 폴리카보네이트
케이블0.22mm2 3심 내열 PVC 케이블 0.3m 부속
질량본체 질량 : 약 85g
조합 헤드 센서HD-T1030
전원 전압24V DC±10%　리플 P-P10% 이하
소비 전류70mA 이하(센서 헤드 포함)
아날로그 출력아날로그 전압
・출력 전압 : 1±0.5V(전체 차광 시)～5±0.5V(전체 입광 시)
・출력 임피던스 : 75Ω
아날로그 출력:응답 시간0.5ms 이하(8V/ms 이상)
아날로그 출력:분해능30μm
(주):분해능이란 아날로그 출력의 피크 to 피크 거리 환산값(20MHz 이하 대역에서)입니다.
아날로그 출력:직선성±1.0%F.S.(검출 위치 중심의 검출폭 28mm에서)
(주):센서 헤드와 컨트롤러를 조합한 상태에서 측정했을 때의 대표 예입니다.
아날로그 출력:온도 특성±0.1%F.S./℃(24±2℃에서)
(주):센서 헤드와 컨트롤러를 조합한 상태에서 측정했을 때의 대표 예입니다.
스팬 조정 기능아날로그 출력 전압의 스팬을 조정, 15회전 엔드리스 볼륨 장착
시프트 조정 기능아날로그 출력 전압의 오프셋을 조정, 15회전 엔드리스 볼륨 장착
워밍업 시간30분 이상
케이블 연장0.3mm2 이상의 케이블로 전체 길이 3m까지 연장 가능

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