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기본 정보
안전한 LED광으로 고정밀도 검출 30μm를 실현
CE,UKCA를 취득했습니다.
특징
안전 대책 일절 불필요
웨이퍼 얼라이먼트 센서 HD-T1 시리즈의 광원에는 안전한 적색 LED를 채택하여 번거로운 안전 대책이 일절 필요 없습니다. 레이저광을 사용할 때 필요한 보호 커버와 미국에서 사용할 때 필요한 FDA 규격을 취득할 필요가 없습니다.
시공 절감
센서 헤드와 컨트롤러 연결은 원터치 커넥터 방식입니다. 배선 공수를 최소한으로 줄여 유지보수도 간단합니다.
저소비 전류 70mA 이하
소비 전류는 센서 헤드와 컨트롤러를 합쳐 70mA 이하입니다. 광전 센서에 버금가는 저소비 전력을 실현시켰습니다.
고분해능 30μm
웨이퍼 얼라이먼트 센서 HD-T1 시리즈는 적색 LED 광원입니다. 또한 레이저 센서 수준의 고성능을 실현하여 고정밀도 검출이 가능합니다.
광축 조정 불필요
투 · 수광부 일체형이므로 번거로운 광축 조정이 필요 없습니다. 또한 검출 거리 및 검출폭이 30mm의 넓은 영역을 커버할 수 있어 다양한 사이즈의 웨이퍼에 대응할 수 있습니다.
스팬 및 시프트 조정 기능 장착
아날로그 출력(1~5V)에는 스팬 조정 기능과 함께 아날로그 전압을 ±0.5V의 범위에서 시프트할 수 있는 편리한 시프트 조정 기능이 장착되어 있습니다.
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용도
웨이퍼의 편심 · 노치 검출
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치수도
- 단위mm
HD-T1030
센서 헤드
HD-T1C
컨트롤러
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회로・연결
입 · 출력 회로도(컨트롤러)
(주1) : 아날로그 출력에는 단락 보호 회로가 장착되어 있지 않습니다.전원 또는 용량 부하를 직접 연결하지 마십시오.
기호···
D: 전원 역연결 보호용 다이오드
ZD: 서지 전압 흡수용 제너 다이오드
단자 배열도(컨트롤러)
| 단자 No. | 내용 | |
|---|---|---|
| 1 | +V | 투광기측 |
| 2 | 0V | |
| 3 | 투광 펄스 | |
| 4 | 실드 | |
| 5 | 실드 | 수광기측 |
| 6 | 수광 신호 | |
| 7 | 0V | |
| 8 | +V | |
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- 센서 헤드와 컨트롤러는 반드시 세트로 사용해 주십시오.
설치
- 센서 헤드 설치는 아래 그림처럼 M4 육각구멍붙이 볼트(별도로 준비해 주십시오)를 2개 사용하고, 조임 토크는 0.5N·m 이하로 설정해 주십시오.
- 투 · 수광기와 설치 베이스를 고정시키는 고정 나사는 분리하지 마십시오. 출력값이 변동됩니다.
- 투 · 수광기 측면의 설치 구멍을 사용하고 나사로 설치하지 마십시오.
컨트롤러
<DIN 레일을 사용하는 경우>
- 스토퍼를 화살표 방향으로 누른 상태(잠깁니다)에서 설치부 앞부분을 35mm 폭 DIN 레일에 끼워넣습니다.
- 설치부 뒷부분을 35mm 폭 DIN 레일에 끼워넣습니다.
※분리할 때는 스토퍼의 홈에 일자 드라이버를 끼워넣고 뒤로 당깁니다.
- 나사로 설치하는 경우에는 M4 냄비 나사를 사용하고, 조임 토크는 1.2N·m 이하로 설정해 주십시오.
배선
- 컨트롤러의 아날로그 출력에는 단락 보호 회로가 장착되어 있지 않습니다. 전원 또는 용량 부하를 직접 연결하지 마십시오.
- 배선 시 커넥터에 정전기를 인가하지 않도록 주의해 주십시오. 고장의 원인이 됩니다.
- 오배선은 고장의 원인이 됩니다.
- 컨트롤러 케이블 연장은 0.3mm2 이상의 케이블로 전체 길이 3m까지 가능합니다. 센서 헤드 케이블 길이는 변경할 수 없습니다.
- 케이블 인출부는 무리하게 꺾거나 잡아당기는 등 충격이 가해지지 않도록 주의해 주십시오. 단선될 우려가 있습니다.
- 직류 전원에는 반드시 절연 트랜스를 사용해 주십시오. 오토 트랜스(단권 트랜스)를 사용하면 본체와 전원을 파손시키는 경우가 있습니다.
- 사용 전원에 서지가 발생할 경우는 발생원에 서지 흡수기를 연결하여 서지를 흡수해 주십시오.
기타
- 전원 투입 시의 과도적 상태(0.5s)를 피하여 사용해 주십시오.
- 본 제품은 LED광의 수광량을 출력합니다. 검출폭 중심부와 주위부는 빛의 강도에 편차가 있어서 치수 정밀도를 보증할 수 없으므로 주의해 주십시오.
- 센서 헤드 투수광면에 물, 기름, 지문처럼 빛을 굴절시키는 물질 또는 먼지, 이물질처럼 빛을 차단시키는 물질을 부착하지 마십시오. 부착된 경우에는 먼지가 나지 않는 부드러운 천이나 렌즈용 클리너 페이퍼 등으로 닦아 주십시오.
- 측정 물체가 경면체 또는 투명체일 경우 정확한 측정이 이루어지지 않을 수도 있으므로 주의해 주십시오.