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ウェーハアドレスセンサ M(終了品)

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受注終了

終了時期

2009年12月28日

本商品は受注を終了いたしました。
代替商品のご案内や終了商品の詳細につきましては、下記をご覧ください。

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受注終了情報

pic01

※ 代替推奨品がない場合でも、用途によっては対応可能な商品がある場合がございますのでお問合せ下さい。

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仕様

種類8インチウェーハ用6インチウェーハ用
25枚用26枚用25枚用
型式名M-825M-826M-625
ウェーハピッチ6.35mm4.76mm
電源電圧20～26.4V DC リップルP-P10%以下
消費電流200mA
検出出力NPNトランジスタ・オープンコレクタ
・最大流入電流：20mA
・印加電圧：30V DC以下(検出出力-0V間)
・残留電圧：1V以下(流入電流20mAにて)
チャンネル数25チャンネル26チャンネル25チャンネル
 出力動作遮光時ON
応答時間1ms以下
投光停止機能装備
出力停止
(外部同期)機能		装備
電源表示灯赤色LED(通電時点灯)
耐
環
境
性		使用周囲温度0～+40℃(但し、結露しないこと)、保存時：-25～+60℃
使用周囲湿度35～85%RH、保存時：35～85%RH
使用周囲照度蛍光灯：受光面照度1,500lx以下、白熱ランプ：受光面照度100lx以下
耐電圧AC1,000V 1分間　充電部一括・ケース間
絶縁抵抗DC500Vメガにて20MΩ以上　充電部一括・ケース間
耐振動耐久10～150Hz 複振幅0.75mm XYZ各方向2時間
耐衝撃耐久490m/s2(約50G) XYZ各方向3回
投光素子赤外LED(発光ピーク波長：870nm、変調式)
材質検出部：PPS、本体ケース：ABS、コネクタ：PBT
ケーブル1.27mmピッチ　30芯　可とう型コネクタ付フラットケーブル500mm付
ケーブル延長同等のフラットケーブルにて全長20mまで延長可能
質量本体質量：約150g
付属品スペーサ：2個

(注1)： 指定のない測定条件は、使用周囲温度=+20℃です。

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寸法図

単位mm

M-625
M-825

25枚用

M-625 M-825

接続可能コネクタ：HIF3BA-30D-2.54R[ヒロセ電機(株)製]

M-826

26枚用

M-826

接続可能コネクタ：HIF3BA-30D-2.54R[ヒロセ電機(株)製]

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