ウェーハ検出ビームセンサ DS(終了品)

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よくある質問

受注終了

終了時期

2006年09月30日

本商品は受注を終了いたしました。
代替商品のご案内や終了商品の詳細につきましては、下記をご覧ください。

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受注終了情報

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種類		差動式・限定反射型
種類		サイドON	ヘッドON
型式名		DS-L10	DS-L10H	DS-L24H
組み合わせアンプ		DS-A1
検出距離(注1)		2～8mm(注2)		5～24mm(注2)
最大検出距離		10.0±1.5mm(注2)		30±4mm(注2)
最小検出物体		ø0.05mm銅素線 (設定距離5mm、背景なきこと)		ø0.16mm銅素線 (設定距離14mm、背景なきこと)
応差(ヒステリシス)		100μm以下		1.36mm以下
繰り返し精度		検出軸方向：10μm以下検出軸に直角方向：50μm以下(設定距離5mm時)		検出軸方向：10μm以下検出軸に直角方向：50μm以下(設定距離14mm時)
耐環境性	使用周囲温度	0～+50℃(但し、結露しないこと)、保存時：-20～+70℃
	使用周囲湿度	35～85%RH、保存時：35～85%RH
	使用周囲照度	太陽光：受光面照度11,000lx、白熱ランプ：受光面照度3,500lx		白熱ランプ：受光面照度70,000lx
	耐電圧	AC1,500V 1分間　充電部一括・ケース間
	絶縁抵抗	DC500Vメガにて20MΩ以上　充電部一括・ケース間
	耐振動	耐久10～55Hz 複振幅1.5mm XYZ各方向2時間
	耐衝撃	耐久500m/s²(約50G) XYZ各方向3回
投光素子		赤外LED(変調式)
温度特性		使用周囲温度0～+50℃にて20℃のときの検出距離の±1%以下
材質		ケース：ABS
ケーブル		0.08mm² 複合3芯シールドケーブル3m付
ケーブル延長		同等のケーブルにて全長5mまで延長可能
質量		約80g
付属品		MS-DS-1(センサヘッド取付金具)：一式

(注1)：検出距離は、有無検出を行なう場合の最適設定距離です。微小な差の検出を行なう場合は、最大検出距離でご使用ください。

(注2)：検出距離および最大検出距離は、白色無光沢紙(DS-L10、DS-L10H：20×20mm、DS-L24H：50×50mm)に対する値です。

種類		専用アンプ
型式名		DS-A1
組み合わせセンサヘッド		DS-L10、DS-L10H、DS-L24H
電源電圧		12～24V DC±10% リップルP-P10%以下
消費電流		40mA以下
出力		NPNトランジスタ・ユニバーサル・最大流入電流：100mA ・残留電圧： 1V以下(流入電流100mAにて) 0.4V以下(流入電流16mAにて)
	出力動作	入光時ON／非入光時ON 切換スイッチにて選択
	短絡保護	装備
応答時間		3ms以下
動作表示灯		赤色LED(出力ON時点灯)
スパンボリウム		連続可変ボリウム装備(最大検出距離の微調整が可能)
耐環境性	使用周囲温度	0～+50℃(但し、結露しないこと)、保存時：-20～+70℃
	使用周囲湿度	35～85%RH、保存時：35～85%RH
	耐ノイズ	電源ライン：200Vp・パルス幅1μs、ふく射：1,300Vp・パルス幅1μs(ノイズシミュレータにて)
	耐電圧	AC1,500V 1分間　充電部一括・ケース間
	絶縁抵抗	DC500Vメガにて20MΩ以上　充電部一括・ケース間
	耐振動	耐久10～55Hz 複振幅1.5mm XYZ各方向2時間
	耐衝撃	耐久100m/s²(約10G) XYZ各方向3回
材質		ケース：ポリカーボネート、端子部：PBT
質量		約15g
付属品		調整ドライバ：1本

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