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ウェーハ検出ビームセンサ DS(終了品)

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受注終了

終了時期

2006年09月30日

本商品は受注を終了いたしました。
代替商品のご案内や終了商品の詳細につきましては、下記をご覧ください。

受注終了情報

pic01

※ 代替推奨品がない場合でも、用途によっては対応可能な商品がある場合がございますのでお問合せ下さい。

仕様

センサヘッド

種類差動式・限定反射型
サイドONヘッドON
型式名DS-L10DS-L10HDS-L24H
組み合わせアンプDS-A1
検出距離(注1)2～8mm(注2)5～24mm(注2)
最大検出距離10.0±1.5mm(注2)30±4mm(注2)
最小検出物体ø0.05mm銅素線
(設定距離5mm、背景なきこと)		ø0.16mm銅素線
(設定距離14mm、背景なきこと)
応差(ヒステリシス)100μm以下1.36mm以下
繰り返し精度検出軸方向：10μm以下
検出軸に直角方向：50μm以下(設定距離5mm時)		検出軸方向：10μm以下
検出軸に直角方向：50μm以下(設定距離14mm時)
耐
環
境
性		使用周囲温度0～+50℃(但し、結露しないこと)、保存時：-20～+70℃
使用周囲湿度35～85%RH、保存時：35～85%RH
使用周囲照度太陽光：受光面照度11,000lx、
白熱ランプ：受光面照度3,500lx		白熱ランプ：受光面照度70,000lx
耐電圧AC1,500V 1分間　充電部一括・ケース間
絶縁抵抗DC500Vメガにて20MΩ以上　充電部一括・ケース間
耐振動耐久10～55Hz 複振幅1.5mm XYZ各方向2時間
耐衝撃耐久500m/s2(約50G) XYZ各方向3回
投光素子赤外LED(変調式)
温度特性使用周囲温度0～+50℃にて20℃のときの検出距離の±1%以下
材質ケース：ABS
ケーブル0.08mm2 複合3芯シールドケーブル3m付
ケーブル延長同等のケーブルにて全長5mまで延長可能
質量約80g
付属品MS-DS-1(センサヘッド取付金具)：一式

(注1)：検出距離は、有無検出を行なう場合の最適設定距離です。微小な差の検出を行なう場合は、最大検出距離でご使用ください。

(注2)：検出距離および最大検出距離は、白色無光沢紙(DS-L10、DS-L10H：20×20mm、DS-L24H：50×50mm)に対する値です。

アンプ

種類専用アンプ
型式名DS-A1
組み合わせセンサヘッドDS-L10、DS-L10H、DS-L24H
電源電圧12～24V DC±10% リップルP-P10%以下
消費電流40mA以下
出力NPNトランジスタ・ユニバーサル
・最大流入電流：100mA
・残留電圧：
1V以下(流入電流100mAにて)
0.4V以下(流入電流16mAにて)
 出力動作入光時ON／非入光時ON 切換スイッチにて選択
短絡保護装備
応答時間3ms以下
動作表示灯赤色LED(出力ON時点灯)
スパンボリウム連続可変ボリウム装備(最大検出距離の微調整が可能)
耐
環
境
性		使用周囲温度0～+50℃(但し、結露しないこと)、保存時：-20～+70℃
使用周囲湿度35～85%RH、保存時：35～85%RH
耐ノイズ電源ライン：200Vp・パルス幅1μs、
ふく射：1,300Vp・パルス幅1μs(ノイズシミュレータにて)
耐電圧AC1,500V 1分間　充電部一括・ケース間
絶縁抵抗DC500Vメガにて20MΩ以上　充電部一括・ケース間
耐振動耐久10～55Hz 複振幅1.5mm XYZ各方向2時間
耐衝撃耐久100m/s2(約10G) XYZ各方向3回
材質ケース：ポリカーボネート、端子部：PBT
質量約15g
付属品調整ドライバ：1本

寸法図

単位mm

DS-L10

センサヘッド

DS-L10

DS-L10H

センサヘッド

DS-L10H

DS-L24H

センサヘッド

DS-L24H

DS-A1

アンプ

DS-A1

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