基本情報
全商品金属部品を使用しないメタルレス構造
フッ素樹脂被覆により幅広い薬液・油に対応。
洗浄槽内のウェーハカセット検出
腐食環境でのウェーハ検出
薬品充てん機での容器検出
腐食環境でのウェーハ検出
メタルレス構造
金属部品を一切使用していないため、保護チューブが破損しても、金属汚染の心配がありません。クリーンな環境が求められる半導体前工程などの装置に最適です。
保護チューブを簡単に切断可能
金属部品を一切使用していないため、保護チューブが破損しても、金属汚染の心配がありません。クリーンな環境が求められる半導体前工程などの装置に最適です。
先端部分の取り回し向上
保護チューブの曲げ半径R30mmを実現。従来（R40mm）よりも取り回しがしやすくなりました。
種類・価格
耐薬品（フルプロテクト）
| 種類 | 先端形状(mm) | 型式名 | 標準価格 | 曲げ 半径 (mm) | ファイバ長 | フリーカット | 光軸径(mm) | 保護 構造 | 使用 周囲 温度 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| フ ラ ッ ト 型 | 透 過 型 | 取り付け簡単 SEMI S2対応 (注3) メタルレス  |  FT-Z802Y | 39,100円 | R4 耐屈曲 (注2) | 2m | ○ | ø3.7 | IP68G (注2) | 0～ ＋60℃ |
| 円 柱 型 | メタルレス | FT-L80Y | 39,100円 | R30 | 2m (注1) | -40～ ＋70℃ | ||||
| サイドビュウ メタルレス  | FT-V80Y | 41,500円 | ø2.8 | |||||||
| 反 射 型 | メタルレス | FD-S60Y | 35,300円 | 保護チューブ R30 ファイバ R4 耐屈曲 | - | |||||
(注1):アンプ挿入側端面から500mmまでが切断可能範囲になります。
(注2):2014年2月生産分より仕様を変更しました。
(注3):SEMI S2で要求される環境試験を考慮した設計になっておりますが、お客様の最終システムを規格に適合させるためには、関連する規格、法規、規制にしたがって設計、使用してください。
- 検出距離については「デジタルファイバセンサ FX-550/FX-550L ファイバ一覧」 「デジタルファイバセンサ FX-500 Ver.2 ファイバ一覧」 「デジタルファイバセンサ FX-100 ファイバ一覧 」の各ページをご参照ください。
- 以下のマークは、折れない(曲げ半径：R10mm、往復曲げ：180°)、曲がる(曲げ半径：R4mm以下)を兼ね備えたファイバです。
耐油ファイバ
油のある環境で使用してもファイバ素線が硬化せず折れない耐油ファイバもご用意しております。
>>詳しくはこちらから
寸法図
単位mm
FD-S60Y
反射型・フリーカット
<FX-AT5 付属>
FT-HL80Y[受注終了(予定)品]
透過型・フリーカット
<FX-AT3 付属>
FT-L80Y
透過型・フリーカット
<FX-AT3 付属>
FT-V80Y
透過型・フリーカット
<FX-AT3 付属>
FT-Z802Y
透過型・フリーカット
<FX-AT3 付属>
