주문 가이드
내진공 화이버 상품 구성
내진공 투과형 화이버(2개 세트)
대기 측 화이버는 별매입니다. 별도로 구입하십시오.
종류 | 선단 형상(mm) | 형식명 | 굴곡 반경 (mm) | 화이버 길이 | 광축 지름 (mm) | 사용 주위 온도 |
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내 진 공 | 내열 300℃, 렌즈(FV-LE1/SV1/SV2) 장착 가능
| FT-40V | R25 | 1m(주1) | ø1.3 | -30~ +300℃ |
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(주1) : 프리컷 타입이 아닙니다. 화이버 길이를 100mm 단위로 변경한 타입을 세미커스텀으로 대응합니다. 자세한 내용은 문의주십시오.
・ 투과형 화이버용 렌즈가 준비되어 있습니다. 자세한 내용은 옵션 페이지를 참조하십시오.
>>옵션 페이지 가기
・ 검출 거리에 대한 내용은 '디지털 화이버 센서 FX-550/FX-550L 화이버 일람', '디지털 화이버 센서 FX-500 Ver.2 화이버 일람', '디지털 화이버 센서 FX-100 화이버 일람' 각 페이지를 참조하십시오.
내진공 반사형 화이버
대기 측 화이버는 별매입니다. 별도로 구입하십시오.
종류 | 선단 형상(mm) | 형식명 | 굴곡 반경 (mm) | 화이버 길이 | 사용 주위 온도 |
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내 진 공 | 장거리 반사형 | 내열 300℃, 각형 헤드
| FD-KZ50V | R25 | 1m(주1) | -30~ +300℃ |
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한정 반사형 | 내열 300℃, 유리 기판 검출
| FD-L10V | 3m(주1) |
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(주1) : 프리컷 타입이 아닙니다. 화이버 길이를 100mm 단위로 변경한 타입을 세미커스텀으로 대응합니다. 자세한 내용은 문의주십시오.
・ 검출 거리에 대한 내용은 '디지털 화이버 센서 FX-550/FX-550L 화이버 일람', '디지털 화이버 센서 FX-500 Ver.2 화이버 일람', '디지털 화이버 센서 FX-100 화이버 일람' 각 페이지를 참조하십시오.
대기 측 화이버(2개 세트)
종류 | 선단 형상(mm) | 형식명 | 굴곡 반경 (mm) | 화이버 길이 | 프리컷 | 사용 주위 온도 |
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대 기 측 | | FT-J9
| R4 내굴곡 | 2m(주1) | ○(주2) | -30~ +80℃ |
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(주1) : 화이버 길이를 1m 단위로 변경한 타입을 세미커스텀으로 대응합니다. 자세한 내용은 문의주십시오.
(주2) : 프리컷 타입의 화이버는 말단부 처리에 따라 검출 거리가 최대 20% 짧아질 수 있으므로 주의하십시오.
・ 아래 마크는 꺾이지 않고(굴곡 반경:R10mm, 왕복 굴곡:180°), 휘는(굴곡 반경:R4mm 이하) 화이버입니다.
내진공 플랜지
적합 화이버는 FT-40V, FD-KZ50V, FD-L10V, FT-J9입니다.
품명 | 형식명 | 내용 |
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내진공 플랜지 1CH | FV-FR1 | | 대기 측과 진공 측을 아이솔레이션합니다. 진공 챔버 권장 두께 ・FV-FR1:3.0~40.0mm(주1) |
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내진공 플랜지 4CH | FV-FR4 | | 대기 측과 진공 측을 아이솔레이션합니다. 진공 챔버 권장 두께 ・FV-FR4:3.0mm(주2) |
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(주1) : 권장 두께 이외의 진공 챔버에는 FV-FR1을 설치할 수 없으므로 사전에 충분히 확인하십시오.
(주2) : 진공 챔버가 지나치게 두꺼우면 진공 측 화이버에 FV-FR4를 설치할 수 없는 경우가 있습니다. 이 때는 진공 측 화이버와 FV-FR4를 연결한 상태로 설치하십시오.
내진공 플랜지의 주요 사양
형식명 | FV-FR1 | FV-FR4 |
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적합 화이버 | FT-40V, FD-KZ50V, FD-L10V, FT-J9 |
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리크량 | 1.0×10−10Pa・m3/s 이하(※He디텍터에서) |
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사용 주위 온도 | −30 ~ +120℃ (보관 시도 동일. 고습도 환경에서는 +40℃까지. 단, 결로 및 결빙 없을 것) |
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사용 주위 습도 | 35~85%RH(보관 시도 동일) |
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조임 강도 | 너트 14.7N・m 이하(M14 너트부) | 9.8N・m 이하(M8 나사) |
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당김 강도 | 20N 이하(대기 측/진공 측 화이버 조인트부) |
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O링 사이즈 | V15 | V40 |
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중량 | 약 100g | 약 410g |
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재질 | 본체:SUS303, 유지 브래킷:SUS301, 화이버부:석영 유리, O링:불소 고무 |
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부속품
• FD-KZ50V용 설치 브래킷
MS-FD-2