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Panasonic Industry / 制御機器
Panasonic Industry / 制御機器

表面電位感測器 EF-S1

  • 基本資訊

  • 用途

  • 種類

  • 選配

  • 規格

  • 尺寸圖

  • 檢測特性

基本資訊

時刻在生產線內檢測不可見的靜電

    用途

    測量剝離BG薄膜時表面電位

    測量剝離BG薄膜時表面電位

    測量剝離芯片時的表面位

    測量剝離芯片時的表面位

    測量裝載、消除時的表面電位

    測量裝載、消除時的表面電位

    測量引線框架上發生的靜電

    測量引線框架上發生的靜電

    測量電路板摩擦帶電

    測量電路板摩擦帶電

    測量LCD模組摩擦帶電

    測量LCD模組摩擦帶電

    種類

    檢測頭

    形狀型號測量距離

    EF-S1HS8.0~20.5mm(±1kV範圍)
    21.0~100mm(±2kV範圍)(註1)

    (註1):請將檢測頭和工件之間的測量距離固定,通過控制器預先設定該距離後再使用。

    控制器

    形狀型號輸出

    EF-S1CNPN開路集電極晶體管類比輸出
    ·輸出電壓:1~5V

    附件

    CN-EP1(控制器連接用連接器): 每組5個

    附件

    (註1):檢測頭上標準裝配1個連接器。

    選配

    品名形狀型號內容
    控制器
    安裝支架

    MS-DIN-2控制器專用的安裝支架。
    固定夾

    MS-DIN-E在DIN導軌上移動控制器時,請從兩端夾緊控制器,並將其
    固定。

    規格

    檢測頭

    型號EF-S1HS
    適用控制器EF-S1C
    測定距離
    (測量範圍)(註1)(註2)
    8.0〜20.5mm(±1kV範圍)
    21.0〜100mm(±2kV範圍)
    電源表示燈綠色LED
    使用環境溫度0〜+40℃(注意不可結露、結冰)、保存時:-20〜+60℃
    使用環境濕度35〜65%RH、保存時:35〜85%RH
    耐振動頻率10〜150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時
    耐衝擊加速度98m/s2(約10G) XYZ各方向5回
    材質外殼部:耐熱ABS、測量部外罩:SUS304
    電線截面積為0.09mm2 的3芯遮罩電線,長5m(帶控制器連接器)(註3)
    重量本體重量:約90g、包裝重量:約130g

    (註1):無指定時的測量條件為使用環境溫度=+20℃。
    (註2):請將檢測頭和工件之間的測量距離固定,通過控制器預先設定該距離後再使用。
    (註3):通過控制器改變測量距離的設定後,測量範圍即自動切換。
    (註4):測量區域因測量距離而異。
    (註5):電線不可延長。

    控制器

    型號EF-S1C
    適用檢測頭EF-S1HS
    電源電壓24V DC±10%
    消耗電流通常時:50mA以下、模式時:40mA以下
    顯示範圍
    (測量範圍)(註1)
    -1,000〜1,000(±1kV範圍)
    -1,999〜1,999(±2kV範圍)
    重複精度±0.3%F.S.
    線性度±0.5%F.S.(註2)
    溫度特性0.05%F.S./℃(註3)
    判定輸出
    (OUT1、OUT2)
    NPN開路集電極晶體管
    ・最大流入電流:100mA
    ・外加電壓:30VDC以下(判定輸出和0V之間)
    ・剩餘電壓:1.5V以下(流入電流為100mA時)
     反應時間10ms、20ms、100ms、200ms、400ms、800ms
    輸出時間OUT1:+正電位元判定輸出或窗口對比輸出
    OUT2:-負電位元判定輸出或故障輸出
    短路保護配備
    模擬輸出(註4)・輸出電壓:1〜5V
    ・輸出阻抗:約100Ω
     反應時間20ms、30ms、110ms、210ms、410ms、810ms
    同步輸入/零位調節器輸入NPN無觸點輸入
    ・信號條件:High・・・+V或斷開
    Low・・・0〜+2V(源電流0.5mA)
    ・輸入阻抗:約10kΩ
    使用環境溫度-10〜+55℃(注意不可結露、結冰)、保存時:-20〜+70℃
    使用環境濕度35〜85%RH、保存時:35〜85%RH
    材質本體外殼:耐熱ABS、外罩:聚碳酸酯、
    MODE鍵:丙烯、突出開關:耐熱ABS
    電線截面積為0.2mm2的6芯橡皮電線,長2m
    電線延長(注6)截面積為0.3mm2以上的電線全長可延長至10m
    重量本體重量:約65g、包裝重量:約110g

    (註1):無指定時的測量條件為使用環境溫度=+20℃。
    (註2):通過控制器改變測量距離的設定後,顯示範圍(測量範圍)即自動切換。
    (註3):F.S.在±1kV範圍時指2,000V(-1,000V~1,000V)、±2kV範圍時指4,000V(-2,000V~2,000V)。
    (註4):該值是 ±1kV範圍下測量電位為±200V以下、±2kV範圍下測量電位為±400V以下時的值。測量電位超出上述範圍時,為顯示值的±5%。
    (註5):該值是 ±1kV範圍下測量電位為±200V以下、±2kV範圍下測量電位為±400V以下時的值。測量電位超出上述範圍時,為顯示值的0.5%/℃。
    (註6):為滿足類比輸出的線性度,請不要使用判定輸出。

    尺寸圖

    • 單位mm

    EF-S1HS

    檢測頭

    EF-S1HS

    EF-S1C

    控制器

    EF-S1C

    檢測特性

    EF-S1HS

    測量距離-測量區域

    EF-S1HS

    EF-S1HS

    安裝誤差-顯示值誤差特性(1)

    EF-S1HS

    角度特性(2)

    EF-S1HS

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